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ナノインプリントリソグラフィの基礎と応用技術動向

ナノインプリントリソグラフィ(Nanoimprint Lithography: NIL)の基礎と実用例を解説

受講可能な形式:【会場受講】


 本セミナーでは、NILの基礎と要素技術を紹介した後、実用例等を解説する。また、ロールトゥロール(RTR)NILについても説明し、反射防止構造フィルムの製造例などについても言及する。さらに、最新のメタレンズやAR/VRグラスへの応用についても紹介する。
日時 2026年12月11日(金)  13:00~16:30
会場 東京・品川区大井町 きゅりあん  4階 第1特別講習室
会場地図
受講料(税込)
各種割引特典
49,500円 ( E-Mail案内登録価格 46,970円 ) S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について
定価:本体45,000円+税4,500円
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10月31日までの1名申込み : 受講料 31,900円(E-mail案内登録価格 31,900円)
 定価/E-mail案内登録価格ともに:本体29,000円+税2,900円
  ※1名様で開催月の2ヵ月前の月末までにお申込みの場合、上記特別価格になります。
  
※本ページからのお申込みに限り適用いたします。※他の割引は併用できません。
配布資料製本テキスト(会場にて直接お渡しします)
備考※講義の録画・録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
得られる知識・ナノインプリントリソグラフィ(NIL)の基礎
・NILにおける金型作製技術、転写樹脂選定、応用事例
・ロールトゥロール(RTR)NILによる転写例
・反射防止構造フィルムの量産例とその応用
・新技術動向、メタレンズ、AR/VRグラス等

セミナー講師

東京理科大学 先進工学部 電子システム工学科・教授 谷口 淳 氏
【その他 活動等】
 応用物理学会 ナノインプリント技術研究会 運営委員長

セミナー趣旨

 ナノインプリントリソグラフィ(Nanoimprint Lithography: NIL)は、ナノオーダーの金型転写技術であり、簡単な原理でナノパターンが得られる利点がある。NILは、1995年にプリンストン大学のChou先生が提唱してから30年以上たち、製品化も進んでいる。
 本講演では、NILの基礎と要素技術を紹介した後、実用例等を紹介することで、新製品等のヒントが得られると考えている。また、ロールトゥロール(RTR)NILの説明も行い、反射防止構造フィルムの製造例なども紹介する。こちらもフィルムベースの新製品等のヒントが得られると考えている。さらに、最新のメタレンズやAR/VRグラスへの応用についても紹介する。

セミナー講演内容

1.はじめに
 1.1 ナノインプリントリソグラフィの歴史
 1.2 ナノインプリントリソグラフィの現状

2.ナノインプリントの基礎
 2.1 ナノインプリントの要素技術(金型、樹脂、装置等)
 2.2 ナノインプリントの各種方式
 2.3 ナノインプリントの位置づけ

3.ナノインプリントの応用技術
 3.1 ナノトランスファープロセス
 3.2 金属パターン転写

4.ロールトゥロール (RTR) ナノインプリント
 4.1 RTR NILの基礎
 4.2 反射防止構造(モスアイ構造)
 4.3 モスアイ構造の作製方法
 4.4 モスアイ構造の転写方法
 4.5 モスアイ構造の応用例

5.将来展望
 5.1 メタレンズ
 5.2 AR/MR グラス

6.まとめ

□ 質疑応答 □