A261119:真空成膜技術の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング | 技術セミナーの開催・書籍出版　サイエンス＆テクノロジー＜Ｓ＆Ｔ＞

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セミナーセミナー番号:A261119(真空成膜)

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【 2 名同時申込で 1 名無料】対象セミナー

テレワーク応援キャンペーン【オンライン配信セミナー1名受講限定】

真空成膜技術の基礎と
機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング

その成膜トラブル・不良は
「成膜装置」に対する理解不足が原因ではありませんか？

受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付)】のみ

真空・成膜技術の基礎から、ガス・汚染・パーティクル、装置の運転・保守に関する知識までを見直して、
根本的なトラブル・失敗から卒業しよう！

【キーワード】安全性と信頼性の向上、基礎の無理解が起こすトラブルと事故、絶対ガッカリさせない質疑への回答

── 「ブラックボックス化」によるトラブルを防ぐ【真空技術】＆【真空成膜】──

本セミナーは、9/10開催の『真空技術の基礎と正しい真空システムの設計＆活用法』セミナーと
セットでのお申込みが可能です。セット申込みの詳細は コチラ

日時

2026年11月19日（木） 10:00～17:00

受講料(税込)

各種割引特典

60,500円 S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について

定価：本体55,000円＋税5,500円

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料 1名分無料適用条件

2名で60,500円 (2名ともE-Mail案内登録必須／１名あたり定価半額の30,250円)
3名で90,750円 (3名ともE-Mail案内登録必須／１名あたり定価半額の30,250円)

1名でのお申込みには、お申込みタイミングによって以下の２つ割引価格がございます

早期申込割引価格対象セミナー【1名受講限定】

9月30日までの1名申込み：受講料 39,600円(E-mail案内登録価格 39,600円)
　定価／E-mail案内登録価格ともに：本体36,000円＋税3,600円
　　※１名様で開催月の2ヵ月前の月末までにお申込みの場合、上記特別価格になります。
　　※本ページからのお申込みに限り適用いたします。※他の割引は併用できません。

テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】

10月1日からの1名申込み：受講料 48,400円 (E-Mail案内登録価格 46,200円)
　定価：本体44,000円＋税4,400円
　E-Mail案内登録価格：本体42,000円＋税4,200円

　　※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
　　※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
　　※他の割引は併用できません。

特典

ライブ配信受講に加えて、見逃し配信でも以下期間中に視聴できます
【見逃し配信の視聴期間】2026年11月20日(金)PM～11月27日(金)まで
※このセミナーは見逃し配信付です。セミナー終了後も繰り返しの視聴学習が可能です。
※ライブ配信を欠席し見逃し配信の視聴のみの受講も可能です。
※見逃し配信は原則として編集は行いません。
※視聴準備が整い次第、担当から視聴開始のご連絡をいたします。

配布資料

PDFテキスト(印刷可)
※開催2日前を目安に、弊社HPのマイページよりダウンロード可となります。
※ダウンロード期限：見逃し配信終了日まで

オンライン配信

Zoomによるライブ配信　►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください）

備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

対象

真空成膜業界現場での実務経験が1年以上ある事が理想

セミナーリクエスト

得られる知識
成膜手段を問わず「普段、トラブルが多い」「歩留まりが低い」「そうなる原因も理屈も理解できない」等々で困っている場合は、ズバリその悩みを解決できます。

セミナー講師

大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構　応用超伝導加速器センター　協力研究員
工学博士　加藤茂樹　氏

【専門】真空工学　(特に超・極高真空、加速器真空)、原子層成長法等薄膜工学、プラズマ工学、表面物理学、表面分析学、超伝導加速空洞工学、ナノ工学、電子源等量子ビーム工学
【その他経歴・活動】マックスプランク研勤務、理研プラズマ物理研勤務、大学院生教育、受託研究、真空関連装置やウルトラクリーンバキュームの設計・製作コンサルタント

セミナー趣旨

　成膜技術は社会インフラを変え、人々の日常生活に大きな恩恵を与えているだけでなく、科学技術そのものの発展を加速し続けている。しかし、その広範で高度な技術がために、同じ成膜技術者であっても、少し手法や製品が変わるとその原理や特性についてまったく知らないことが多い。また、自ら扱っている装置であっても、表面上の付き合いに留まり、機器をブラックボックス化して、日常の運転・保守を続けていることが多い。しかし、このような日常にこそ、トラブルと事故の遠因が潜んでいる。この講義では、真空環境を使った各種成膜装置の背景にある物理を基礎から再認識してもらい、後半では薄膜作成におけるトラブルと失敗をその対策とともに紹介する。

セミナー講演内容

１．基礎の無理解とブラックボックス化が起こす成膜絡みの大事故！
　1.1 成膜作業が絡む大事故例　
　1.2 リスクマネジメントとハインリッヒの法則

２．成膜と真空の密な関係
　2.1 成膜は目的、良い真空はその手段の１つ
　2.2 何故、良い成膜に良い真空が必要なのか？
　2.3 そもそも良い真空とはどんなものか？
　2.4 成膜室の真空が良いだけでは良い膜ができない!!

３．無駄なトラブルと事故を避けるため、成膜に関連が深い真空工学をちょこっと復習！
　3.1 気体分子運動論と気体の性質
　3.2 気体の流れと真空排気
　3.3 真空排気の理想と現実

４．これだけは押さえたい、２時間で学ぶ成膜技術の基礎のキ!!
　4.1 成膜のおける重要な鍵
　4.2 原料物質(粒子)への作用エネルギーの大きさで分類する成膜方法
　4.3 成膜の素過程
　4.4 スパッタリングを少し深く理解してみよう
　4.5 反応性スパッタは本当にPVDの1つとして良い？　
　　沢山あり過ぎ混沌とする成膜法の分類
　4.6 原料粒子への作用エネルギーで分類を再定義
　4.7 薄膜の育ち方とその条件
　4.8 こんなにある薄膜の評価法

５．成膜装置におけるトラブル事例と解決法
　5.1 デタラメな機械加工や接合にダマされるな
　5.2 不純物と維持費抑制に必須な装置内面の表面処理や表面改質
　5.3 絶対避けたい擬似リーク
　5.4 オイルフリー排気系の落とし穴
　5.5 成膜法に依っては必須のベーキング
　5.6 吸っても安全な成膜原料ガスは１つもない！
　5.7 成膜にまつわるモノ（素材、部品、装置等）に素手で触れるのはどれだけの悪さなのか？　
　5.8 パーティクルはどこからどう生まれる？　
　5.9 成膜中、陰で進行している汚染ガス放出とパーティクルの生成
　5.10 圧力測定には全圧計だけでは不十分！　
　　　残留ガス質量分析計（プロセスガスモニタ）が解決する膜作り
　5.11 大面積化、ハイパワー化の必要条件と功罪
　5.12 成膜真空容器に鎧を付けよう
　5.13 汚染を引き起こさない真空成膜装置の正しい扱い方

6．最近話題の成膜法（HiPIMSやSpatial ALD等）

7．まとめと質疑応答

セミナーリクエスト

セミナーセミナー番号:A261119(真空成膜)

真空成膜技術の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング

1名分無料適用条件

セミナー講師

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薄膜の剥離メカニズムと密着性改善 NEW
受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】の選択受講

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アナログ＆デジタル半導体設計入門
受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付)】のみ

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半導体デバイス製造を支えるCMP技術の開発動向
～微細化・高集積化・難加工基板への対応で重要性が増すCMP技術の進展～

匂い・香りの科学と評価・可視化・応用技術
～センシング技術の進展と呼気ガス分析・香り再現・演出等への展開～

車載用LiDARの市場・技術トレンド
～急速な成長を見せる車載LiDAR市場と採用・搭載レイアウト例、要素技術と低コスト化の進展、主要企業の製品動向まで～

光半導体とそのパッケージング・封止技術
～LED,レーザ,フォトダイオード,光ICなど、光半導体の種類・原理・用途から
　封止・材料技術、ディスプレイや高速通信など先端応用に関わる開発課題まで～

環境発電・エネルギーハーベスティング技術―デバイス開発と応用展開―
～各種発電技術の仕組み・特徴、市場動向、先進的なデバイス・応用開発事例まで～