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ナノインプリント技術の基礎と応用最前線

～理論・シミュレーション・プロセス最適化と材料・装置・応用開発の進展～

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配信開始日 2025年9月26日
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体裁B5判 並製本 402頁（製本版）／PDF（ebook版）
監修平井義彦　大阪公立大学
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ISBNコード978-4-86428-334-2
CコードC3058
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ナノインプリント技術は、1995年にStephen Y. Chou教授が従来のリソグラフィーを超える革新的な機械的パターニングとして開発され、当時10nmの超高解像度を達成しました。2025年に30周年を迎えるこの技術は、0.3nm解像度や大面積パターニングを実現し、半導体、AR/VR、バイオセンサー、光通信など先端産業を牽引しています。特に最近では、高屈折率材料のナノ加工による光導波路（傾斜型回折格子）の検討がAR/VRデバイス向けに進展しています。また高密度メモリ向けでは精密な位置合わせと欠陥ゼロという高いハードルを克服しつつあり、その実用化に向けた取り組みが加速しています。

本書では、大阪公立大学、平井義彦教授監修の元、第一線の研究者・専門家からの寄稿により、基礎原理から材料・プロセスの最適化に向けた高度なシミュレーション・材料計測技術、各種デバイス応用、成形材料・モールド・装置などの産業応用技術までを網羅しました。ナノインプリントに関連した技術開発や、ナノインプリントによる新製品創出、量産化に向けた課題解決の手がかりとしても活用可能な一冊です。

概要

内容一部紹介

◎基礎理論から最新の応用研究、樹脂材料や装置開発に至るまで、多角的に網羅した技術解説
◎微細パターン形成に関わる物理現象（転写、樹脂流動、硬化など）
◎成膜・硬化プロセスの条件最適化と加工パラメータの影響
◎微細構造の再現性・均一性を高めるための課題と対応技術
◎パターン欠陥や歪み発生のメカニズム解析
◎シミュレーションによる物理現象の解析や材料設計の最適化、加工条件の予測など
◎ARVR光学素子、光学部品、バイオセンサ、フレキシブルエレクトロニクス、生物模倣表面等の応用例
◎NNT2019～2024を中心に、AR/VR光学素子製造に関わる具体的技術、材料、プロセスの報告
◎レジスト樹脂材料、モールド、装置、精度向上に寄与する自動化やプロセス制御等の産業技術..etc
 
目次概要

はじめに
Preface
半導体産業におけるナノインプリントへの期待

第1編　ナノインプリント技術の基礎
1章 ナノインプリント技術の歴史・研究～実用化のこれまで
2章 熱・光(UV)ナノインプリント技術
3章 ナノインプリントにおける分子挙動・シミュレーション・測定法
4章 室温ナノインプリント技術
5章 モールド技術
6章 離型技術
7章 ディープラーニングを活用したプロセス・材料の最適化

第2編　ナノインプリント技術の応用
1章 AR/VR/MRデバイスへの応用
2章 光学・半導体・電子部材とその他の最新の応用展開
3章 ナノインプリントの産業応用を促進する材料・モールド・装置の開発動向

著者

Stephen Y. Chou Princeton University 山田 逸成 摂南大学
岸本 隆正 (株)野村総合研究所 前田 有希 (株)パリティ・イノベーションズ　
平井 義彦 大阪公立大学 小松 裕司 コネクテックジャパン(株)
鈴木 健太 (国研)産業技術総合研究所 見山 克己 北海道科学大学
安田 雅昭 大阪公立大学 遠藤 達郎 大阪公立大学
多田 和広 富山高等専門学校 宮内 昭浩 東京科学大学
大西 有希 東京工業大学 M. Messerschmidt micro resist technology GmbH
伊藤 伸太郎 名古屋大学 M. Lohse micro resist technology GmbH
松井 真二 兵庫県立大学 A. Schleunitz micro resist technology GmbH
谷口 淳 東京理科大学 G. Grützner micro resist technology GmbH
上平 員丈 神奈川工科大学 坂本 昌 信越化学工業(株)
山内 一美 NTTアドバンステクノロジ(株) 小久保 光典 芝浦機械(株)
Carlos Pina-Hernandez HighRI Optics Inc. 伊藤 俊樹 キヤノン(株)
山田 快斗 HighRI Optics Inc. 大井 秀雄 (株)協同インターナショナル
宗近 恵子 HighRI Optics Inc.
村井 俊介 大阪公立大学
穂苅 遼平 (国研)産業技術総合研究所
桑野 玄気 (国研)産業技術総合研究所
栗原 一真 (国研)産業技術総合研究所

目次

はじめに
Preface

半導体産業におけるナノインプリントへの期待
はじめに
1.　AI/知能化社会をリードする半導体
　1.1　超高速処理AIデバイスにより知能化
　1.2　知能化と電化が進む自動車が半導体の第三の柱に
2.　超高速・大容量通信を可能にする光融合型3次元ハイブリッドデバイス技術の発展
　2.1　メモリへのナノインプリント実用化
　2.2　高速ネットワークに求められる光融合デバイスとナノインプリント
　2.3　自動車の自動運転を可能にするADASセンサーへの応用
　2.4　ミリ波，ビヨンド5G向け高速通信用アンテナ
　2.5　ヘテロジニアスインテグレーションがひらく，新たな世界
　おわりに

本書出版にあたって

第1編　ナノインプリント技術の基礎
第1章　ナノインプリント技術の歴史・研究～実用化のこれまで
　はじめに
1.　ナノインプリントの起源
　1.1　インプリントとは
　1.2　ナノインプリントの誕生と発展経緯
　　1.2.1　ナノインプリントの誕生
2.　ナノインプリントの進展
3.　ナノインプリントの成立要件
4.　産業応用へのあゆみ

第2章　熱・光（UV）ナノインプリント技術
第1節　熱およびダイレクトナノインプリントのメカニズムとプロセス
　はじめに
1.　基本的なプロセスメカニズム
　1.1　シミュレーションモデル
　1.2　成形の基本メカニズム
　　1.2.1　プレス圧力依存性
　　1.2.2　アスペクト比依存性
　　1.2.3　初期膜厚依存性
2.　応力による欠陥要因とプロセスの最適化
　2.1　高アスペクト比パターン作製における典型的欠陥
　　2.1.1　プロセスシーケンスと発生する応力・歪
　　2.1.2　プロセスシーケンスの最適化
　　2.1.3　高アスペクト比パターンの作製
　2.2　マイクロレンズ構造の成形
　　2.2.1　凹型マイクロレンズのナノインプリント例
　　2.2.2　凸型マイクロレンズのナノインプリント例
3.　成形時間依存
　3.1　実験方法
　3.2　計算モデル
　3.3　実験と計算結果
4.　ダイレクトナノインプリント
　4.1　ガラスへのダイレクトナノインプリント
　4.2　Auへのダイレクトナノインプリント
　4.3　有機半導体へのダイレクトナノインプリント
　まとめ

第2節　光（UV）ナノインプリントのメカニズムとプロセス
1.　光（UV）ナノインプリント
2.　レジストの充填プロセス
　2.1　液滴滴下方式での充填
　2.2　スピンコート法と凝縮性気体雰囲気中での充填
3.　UV照射プロセス 
4.　光硬化プロセス
5.　光（UV）ナノインプリントの課題と解決策
　5.1　気泡のトラップ
　5.2　残膜厚の均一化
6.　光（UV）ナノインプリント半導体製造への応用
　6.1　半導体配線工程への応用
　6.2　ダブルパターニング後のチョッピングへの応用
　まとめ

第3節　混合凝縮性ガス導入による低欠陥・高精度ナノインプリント技術
　はじめに
1.　凝縮性ガスを導入するナノインプリント
2.　混合凝縮性ガスを導入するナノインプリント
　おわりに

第3章　ナノインプリントにおける分子挙動・シミュレーション・測定法
第1節　分子動力学法によるナノインプリント成形，離型の分子挙動解析
　はじめに
1.　樹脂モデルと分子サイズ
2.　分子動力学解析
3.　限界解像度と分子サイズ
4.　連続体力学との比較
5.　離型と分子挙動
　おわりに

第2節　ナノインプリントによる原子ステップ解像の分子動力学解析
　はじめに
1.　分子動力学計算モデル
2.　計算結果
3.　表面形状の分析
　おわりに

第3節　分子動力学法によるガラス材料のナノインプリント成型とその限界解像度
　はじめに
1.　計算条件
2.　ガラス成型結果とその解像限界

第4節　UVナノインプリントにおける樹脂の光硬化特性のシミュレーション解析
　はじめに
1.　光硬化反応の確率論的シミュレーションモデル
2.　光硬化特性のシミュレーション解析
3.　光硬化性樹脂における反応阻害の再現
4.　光硬化性樹脂における硬化収縮の再現
　おわりに

第5節　レジンのUV収縮・熱変形・荷重変形による転写誤差シミュレーションのための物性測定
　はじめに
1.　測定を要するレジン特性・物性
　1.1　温度時刻歴
　1.2　熱膨張率
　1.3　即時弾性率
　1.4　動的粘弾性係数
　1.5　反応速度定数
　1.6　UV収縮時刻歴
2.　回転式レオメーター試験
　2.1　装置概略
　2.2　ロッドとギャップ長の選定
　2.3　光源の選定と設定
　2.4　レジンの塗布
　2.5　測定条件の設定
　2.6　再現性の確認
　おわりに

第6節　紫外線硬化性樹脂のナノレオロジー測定法
　はじめに
1.　ナノレオロジー測定法
2.　ナノ厚さの光硬化性液体膜のずり粘弾性測定
3.　ナノ厚さ光硬化性液体膜のUV硬化プロセスの測定
　おわりに

第4章　室温ナノインプリント技術
　はじめに
1.　PDMSソフトモールドを用いた室温ナノインプリント
　1.1　PDMSモールドの特性と作製
　1.2　HSQ転写パターン
　1.3　HSQ転写パターンのアニール特性
2.　室温ナノインプリントの応用展開

第5章　モールド技術
　はじめに
1.　原版モールドの作製
　1.1　半導体微細加工技術によるモールド作製
　1.2　ロールtoロール用モールド作製
　　1.2.1　薄膜ホイルのロールへの巻き付け
　　1.2.2　ロール基材面の直接加工
　　1.2.3　ロール基材のビーム加工
2.　レプリカモールドの必要性とその作製
　2.1　Ni電鋳によるレプリカ作製
　2.2　シリカ系材料によるレプリカ作製
　2.3　ソフトモールドによるレプリカ作製
　2.4　キャスティングによる樹脂材料を用いたレプリカ作製
　2.5　水溶性樹脂によるレプリカ作製
3.　曲面モールドの作製と転写
　3.1　電子線リソグラフィによる曲面形状モールドの作製
　3.2　曲面形状モールドによる微細構造形成
　まとめ

第6章　離型技術
第1節　離型技術のメカニズムと離型性の向上
　はじめに
1.　ナノインプリントにおける離型のメカニズム
2.　接着と剥離の物理化学と表面エネルギー 
3.　離型プロセスのシミュレーション解析
　3.1　破壊力学モデルによる解析
　3.2　接触境界モデルによる解析
　3.3　傾斜角付きモールドによる離型モデルの検証
4.　離型性向上のためのプロセス
　4.1　化学的手法による離型性向上
　　4.1.1　モールドの表面コーティング
　　4.1.2　偏析剤による欠陥低減
　　4.1.3　プライマーによる樹脂/基板密着性の向上
　4.2　力学的手法による離型性向上
　　4.2.1　モールド/樹脂材料の弾性率の影響と最適化
　　4.2.2　ピール離型
　　4.2.3　振動離型方法
5.　傾斜型回折格子構造の離型解析
　5.1　背景
　5.2.　傾斜型回折格子の離型シミュレーション解析
　　5.2.1　数値モデル
　　5.2.2　構造と材料
　5.3　解析結果
　　5.3.1　垂直離型と傾斜離型 
　　5.3.2　剥離（ピール）離型
　　5.3.3　へき開離型 
　5.4　まとめ
　まとめ

第2節　レプリカモールドの離型性の寿命予測
　はじめに
1.　繰り返しUV-NILによる耐久性評価
　1.1　実験方法
　1.2　実験結果
　1.3　まとめ
2.　ラインアンドスペース（L&S）金型を用いた寿命予測方法
　2.1　測定方向による接触角の違い
　2.2　レプリカモールドの作製
　2.3　繰り返しUV-NIL転写方法
　2.4　繰り返し転写結果
　2.5　まとめ
　おわりに

第7章　ディープラーニングを活用したナノインプリントプロセス・材料の最適化支援
　はじめに
1.　グリセリン添加ポリビニルアルコール（PVA）の低温ダイレクト・ナノインプリント
2.　ディープラーニングによるナノインプリント結果の予測
　2.1　グリセリン添加によるPVAの成形性
　2.2　ディープラーニングによる学習とその結果の検証
3.　シミュレーション予測とのハイブリッド化による予測範囲の拡張
　3.1　シミュレーションによる学習範囲の拡張
4.　プロセス・材料の設計支援とその検証
　おわりに

第2編　ナノインプリント技術の応用
第1章　AR/VR/MRデバイスへの応用
第1節　AR/MR/VRデバイスに用いられる光学系技術
　はじめに
1.　AR，MR，VR技術の概要と対応機器
　1.1　AR技術の概要と対応機器
　1.2　MR技術の概要と対応機器
　1.3　VR技術の概要と対応機器
2.　AR，MR，VR機器における光学系の役割
　2.1　AR，MR機器における光学系の役割
　2.2　VR機器における光学系の役割
3.　VR機器に用いられる光学系と仕組み
4.　AR，MR機器に用いられる光学系と仕組み
　4.1　ハーフミラー方式
　4.2　光導波路方式
　4.3　網膜投影方式
5.　ナノインプリント技術のAR/VRデバイスへの応用と課題
　5.1　AR/VRグラス用光導波路の構造
　　5.1.1　光導波路と表面構造
　5.2　表面レリーフ型（SRG）構造とナノインプリント
　5.3　ナノインプリントプロセス・材料に求められる性能
　おわりに

第2節　XRデバイスにおける光学樹脂への要求特性と高屈折率NI樹脂
　はじめに
1.　XRデバイスへのUVナノインプリント活用
　1.1　UV硬化型NI樹脂の光学応用
　1.2　UV硬化型NI樹脂の要求特性
2.　高屈折率NI樹脂の開発技術
　2.1　UV硬化樹脂の高屈折率化
　　2.1.1　屈折率を調整する元素
　　2.1.2　特殊な分子構造のモノマー，オリゴマー
　　2.1.3　ナノフィラー
　2.2　ナノインプリントプロセスへの適合
　　2.2.1　塗布
　　2.2.2　流動性
　　2.2.3　UV硬化
　　2.2.4　離型性
　2.3　高屈折率NI樹脂の例
　　2.3.1　溶媒系高屈折率NI樹脂の取り扱い方法と特徴
　　2.3.2　無溶媒系高屈折率NI樹脂の取り扱い方法と特徴
　2.4　高屈折率とナノインプリント性を両立する上での課題
　おわりに

第3節　ナノインプリントリソグラフィ適合超高屈折率樹脂
　はじめに
1.　高屈折率化へのアプローチと課題
2.　HighRI Optics社のナノインプリント適合高屈折率樹脂製品
3.　ナノインプリント適合高屈折率樹脂を使った応用例
　おわりに

第4節　国際学会に見るナノインプリントによるAR/VR用グラスの研究開発状況
　はじめに
1.　AR/VR用光導波路製造へのナノインプリントの必然性
2.　黎明期の取り組み（2000年代）
　2.1　SiO2-TiO2による回折格子の作製
　2.2　高屈折材料による傾斜型回折格子の作製
　2.3　ZnOナノパーティクル含有樹脂によるドットアレイの作製
　2.4　Al2O3ナノパーティクル含有樹脂によるマイクロコーン構造の作製
3.　2010年代の状況
4.　NNT（Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference）での発表
　4.1　NNT2019（Boston）での発表内容
　　4.1.1　WaveOptics社（イギリス）とそのパートナーによる大量生産システムの紹介
　　4.1.2　Dispelix社（フィンランド）によるAR導波路設計技術
　　4.1.3　SUSS MicroTec Solutions社（ドイツ）の高品質NILプロセス
　　4.1.4　Phylips社（オランダ）のSCILシステムと無機高屈折率レジストによるアプローチ
　　4.1.5　HighIR Optics社（米国 カリフォルニア）による高屈折率レジストの開発
　4.2　 NNT2021（Finland/Online）での発表
　　4.2.1　Inkron社（フィンランド）の高屈折率材料
　　4.2.2　EVG社（オーストリア）のSmartNILシステム
　　4.2.3　UMass（米国 マサチューセッツ）のTiO2ナノ粒子インクによるメタレンズの作製）
　　4.2.4　HighRI Optics社（米国 カリフォルニア）による高屈折率有機ポリマーの開発
　　4.2.5　Morphotonics社（オランダ）のRole to Plate製造システムの開発
　4.3　NNT2022（富山）での報告
　　4.3.1　HighRI Optics社（米国 カリフォルニア）の非金属高屈折率レジスト
　　4.3.2　UMass（米国 マサチューセッツ）での高屈折率材料へのアプローチ
　　4.3.3　Korea University（韓国）でのメタレンズへの取り組み
　　4.3.4　Inkron社（フィンランド）の屈折率整合樹脂のインクジェット塗布による残膜均一化
　　4.3.5　Morphotonics社（オランダ）のRole to Plate装置による取り組み
　4.4　NNT2023 （Boston）での発表
　　4.4.1　Sunny OmniLight Technology社（中国 上海）の紹介
　　4.4.2　Dispelix社（フィンランド）のARグラスの設計，製造に関する取り組み紹介
　　4.4.3　CINaM（フランス）の金属酸化物系高屈折材料の開発
　　4.4.4　東京応化工業（株）（日本）のナノ粒子含有型の高屈折率材料の開発
　　4.4.5　SUSS MicroTec Solutions社（ドイツ）のインクジェック塗布方式高屈折材料による残膜均一化
　　4.4.6　DELO社（ドイツ）の高屈折材料の紹介
　　4.4.7　HighRI Optics社（米国 カリフォルニア）の屈折率可変非金属高屈折率樹脂の開発
　4.5　NNT2024（Lund）での発表
　　4.5.1　中国からの発表
　　　4.5.1.1　Suzhou New Dimension Nano Technologies社（中国 蘇州）のNILファウンドリ
　　　4.5.1.2　Germanlitho社（中国 青島）の超高速熱NILシステム
　　　4.5.1.3　Hangzhou Ou Guang Xin Technology社（中国 杭州）のNILシステム紹介
　　4.5.2　Waveguide関連の発表
　　　4.5.2.1　Applied Materials社（米国 カリフォルニア）の材料装置技術
　　　4.5.2.2　CINaM（フランス）の高屈折材料
　　　4.5.2.3　UMass（米国 マサチューセッツ）のALDによる屈折率可変技術
　　　4.5.2.4　Pixelligent Technologies社（米国 メリーランド）のナノ粒子含有材料とその耐久性
　　　4.5.2.5　NTTアドバンステクノロジ（株）（日本）のTiO2ナノフィラー含有高屈折率材料
　　　4.5.2.6　HighRI Optics社（米国 カリフォルニア）の含有物フリーの屈折率可変材料
　　　4.5.2.7　東洋合成工業（株）（日本）の傾斜型回折格子対応レプリカモールド材料
　　　4.5.2.8　Inkron社（フィンランド）のインクジェット塗布型材料による格子深さ可変成成形
　　　4.5.2.9　scia Systems社（ドイツ）のモールド作製技術
　　　4.5.2.10　SUSS MicroTec Solutions社（ドイツ）のインクジェット対応高屈折率レジスト
　　　4.5.2.11　Dispelix 社（フィンランド）によるレプリカモールドの耐久性試験
5.　SPIE AR/VR/MRよりナノインプリントによるAR/VRグラス用光導波作製の現状
　5.1　はじめに
　5.2　Waveguideの各方式とアイグロー
　5.3　SRG方式，体積ホログラム方式の特徴と各社方式
　5.4　SRG構造の方式と光学特性を含めた特徴
　5.5　各種SRG構造のモールド作製
　5.6　導波路の基板材料とSRG構造の材料
　5.7　SPIE AR/VR/MR 2025（2025年1月 サンフランシスコ）での動向
6.　中国での開発状況 

第2章　光学・半導体・電子部材とその他の最新の応用展開
第1節　ナノアンテナへの応用
　はじめに
1.　ナノアンテナとは
　1.1　局在表面プラズモン共鳴
　1.2　ナノアンテナ
　1.3　ナノアンテナの作製方法
2.　ナノアンテナの応用
　2.1　蛍光制御
　　2.1.1　蛍光体薄膜との組み合わせ
　　2.1.2　YAG蛍光板との組み合わせ：指向性ある擬似白色光取り出し
　　2.1.3　まとめ
　2.2　メソポーラスシリカ薄膜とナノアンテナを組み合わせた蒸気圧応答光共鳴
　　2.2.1　多孔質材料を用いた気体の検知
　　2.2.2　試料作製
　　2.2.3　結果
　　2.2.4　まとめ
3.　ナノアンテナシール
　3.1　ナノアンテナシールの作製
　3.2　ナノアンテナシールの蛍光制御への応用
　　3.2.1　蛍光体基板との組み合わせ
　　3.2.2　伸縮による蛍光方向の制御
　　3.2.3　サンドイッチ構造による蛍光増強
　　3.2.4　まとめ
　おわりに

第2節　ホットエンボス加工を基盤としたワイヤーグリッド偏光シートの開発
　はじめに
1.　Ag ナノ粒子インクを利用した偏光シート
2.　無電解Ni めっき膜を利用した偏光シート
3.　三角波状ナノ構造を利用した偏光シート
　おわりに

第3節　ソフトインプリントリソグラフィー技術を利用した赤外用ワイヤグリッド偏光子の製作
　はじめに
1.　ゾル－ゲル法とソフトインプリント
2.　赤外用ワイヤグリッド偏光子の製作方法
3.　光学評価
　おわりに

第4節　空中映像用光学素子への応用
　はじめに
1.　2面コーナーリフレクタアレイ
　1.1　構造と製造方法
　1.2　結像原理
2.　2面コーナーリフレクタアレイによる空中映像の応用
　おわりに

第5節　ナノ金属積層構造の作製とプラズモンメモリ・フレキシブルインタポーザへの応用
　はじめに
1.　金属ナノパターンの積層方法
2.　マイクロオーダーの貫通穴電極の作製
　おわりに

第6節　半導体チップ実装における微細配線・バンプ形成への応用
　はじめに
1.　背景
　1.1　半導体のIoT応用とチップ低温接合
　1.2　インプリント法によるバンプの狭ピッチ化
　1.3　ハードレプリカからソフトレプリカへ
2.　実験方法
3.　実験結果と考察
　3.1　導電性ペーストのかきとり性
　3.2　段差を有する基板への配線転写
　3.3　微細・高アスペクトバンプ形成
　おわりに

第7節　有機基板超微細配線形成への応用
　はじめに
1.　現行の配線形成方法とナノインプリントダマシン工法
　1.1　現行の配線形成方法と配線微細化の課題
　1.2　ナノインプリントを応用した配線形成方法
2.　実験方法
　2.1　基材とモールド
　2.2　ナノインプリント装置と手法
　2.3　銅めっきと表層除去
3.　結果と考察
　3.1　インプリントによる転写性
　3.2　銅めっきと表層除去
　おわりに

第8節　ポリマー製フォトニック結晶のDNAセンシングデバイスへの応用
　はじめに
1.　フォトニック結晶を用いたセンシングデバイスの開発
2.　ポリマー製PhCを用いたDNAセンシング
　2.1　プローブDNA固定化方法の検討
　2.2　プローブDNA固定化方法によるDNAセンシング性能比較
　おわりに

第9節　バイオミメティクスと表面構造設計
　はじめに
1.　バイオミメティクスの位置づけ
2.　サメの流体解析
3.　バイオフィルム
4.　バイオフィルムの成長を抑制する表面構造
　おわりに

第3章　ナノインプリントの産業応用を促進する材料・モールド・装置の開発動向
第1節　Commercial NIL resists for Thermal and UV Nanoimprint Lithography
1.　Commercial NIL resist materials applicable for different Nanoimprint Lithography Techniques
　1.1　Thermoplastic and thermoset NIL resists
　1.2　Thermal and UV-activated thermosetting NIL resists
　1.3　Tailored resist formulations for industrial UV-NIL techniques

第2節　UV硬化型液状シリコーンゴム材料とソフトモールド応用
　はじめに
1.　シリコーンゴム材料
　1.1　シリコーンの特徴
　1.2　シリコーンゴムの硬化機構
　　1.2.1　UV付加硬化
　　1.2.2　UVラジカル硬化
2.　UV硬化型液状シリコーンゴム材料
3.　ナノインプリントのソフトモールドへの応用
　おわりに

第3節　ナノインプリントプロセス・装置の開発とその応用例  ウェーハレベルレンズ，LEDの高輝度化，大面積ワイヤグリッド偏光板
　はじめに　「ナノインプリント技術」
1.　UV硬化樹脂を用いたウェーハレベルレンズ（WLL）成形
　1.1　小型カメラモジュールとWLL
　1.2　WLL成形技術
　1.3　WLL成形装置
　1.4　WLLの高精度化
　1.5　まとめ（UV硬化樹脂を用いたWLL成形）
2.　LEDの高輝度化，深紫外LEDへの適用
　2.1　フィルムモールドを使用したナノインプリントプロセス
　2.2　LEDの高輝度化
　2.3　まとめ（LEDの高輝度化，深紫外LEDへの適用）
3.　ワイヤグリッド偏光板（WGP）製作
　3.1　フィルムモールドを使用したナノインプリントプロセスによるG2サイズのWGP製造
　3.2　まとめ（WGP製作）

第4節　半導体製造用ナノインプリントリソグラフィ技術の最新開発状況
　はじめに
1.　JFILプロセスの概要
2.　ナノインプリント装置の構成
3.　マスクの構造及び押印方法
4.　レジストとプロセスの開発
5.　ナノインプリントリソグラフィの性能課題と対策
　5.1　欠陥（Defectivity）
　　5.1.1　マスク欠陥
　　5.1.2　インプリント欠陥
　　5.1.3　欠陥性能の推移
　5.2　パーティクル（Particle）
　　5.2.1　パーティクル性能の推移
　5.3　オーバーレイ（Overlay）
　　5.3.1　オーバーレイ性能の推移
　5.4　スループット（Throughput）
　　5.4.1　レジストドロップの小滴化
　　5.4.2　クラスタシステム
　　5.4.3　スループット向上の推移
　おわりに

第5節　ナノインプリント技術による製品開発の進め方
　はじめに
1.　ナノインプリントの方式
2.　熱ナノインプリントの製品開発
　2.1　樹脂材料の選定
　2.2　熱収縮の課題
3.　UVナノインプリントの製品開発
　3.1　転写方式と樹脂材料の選定
　　3.1.1　ハードコンタクト
　　3.1.2　ソフトコンタクト
　　3.1.3　ロールtoロール
　おわりに

概要

内容一部紹介

◎基礎理論から最新の応用研究、樹脂材料や装置開発に至るまで、多角的に網羅した技術解説
◎微細パターン形成に関わる物理現象（転写、樹脂流動、硬化など）
◎成膜・硬化プロセスの条件最適化と加工パラメータの影響
◎微細構造の再現性・均一性を高めるための課題と対応技術
◎パターン欠陥や歪み発生のメカニズム解析
◎シミュレーションによる物理現象の解析や材料設計の最適化、加工条件の予測など
◎ARVR光学素子、光学部品、バイオセンサ、フレキシブルエレクトロニクス、生物模倣表面等の応用例
◎NNT2019～2024を中心に、AR/VR光学素子製造に関わる具体的技術、材料、プロセスの報告
◎レジスト樹脂材料、モールド、装置、精度向上に寄与する自動化やプロセス制御等の産業技術..etc
 
目次概要

はじめに
Preface
半導体産業におけるナノインプリントへの期待

第1編　ナノインプリント技術の基礎
1章 ナノインプリント技術の歴史・研究～実用化のこれまで
2章 熱・光(UV)ナノインプリント技術
3章 ナノインプリントにおける分子挙動・シミュレーション・測定法
4章 室温ナノインプリント技術
5章 モールド技術
6章 離型技術
7章 ディープラーニングを活用したプロセス・材料の最適化

第2編　ナノインプリント技術の応用
1章 AR/VR/MRデバイスへの応用
2章 光学・半導体・電子部材とその他の最新の応用展開
3章 ナノインプリントの産業応用を促進する材料・モールド・装置の開発動向

著者

Stephen Y. Chou Princeton University 山田 逸成 摂南大学
岸本 隆正 (株)野村総合研究所 前田 有希 (株)パリティ・イノベーションズ　
平井 義彦 大阪公立大学 小松 裕司 コネクテックジャパン(株)
鈴木 健太 (国研)産業技術総合研究所 見山 克己 北海道科学大学
安田 雅昭 大阪公立大学 遠藤 達郎 大阪公立大学
多田 和広 富山高等専門学校 宮内 昭浩 東京科学大学
大西 有希 東京工業大学 M. Messerschmidt micro resist technology GmbH
伊藤 伸太郎 名古屋大学 M. Lohse micro resist technology GmbH
松井 真二 兵庫県立大学 A. Schleunitz micro resist technology GmbH
谷口 淳 東京理科大学 G. Grützner micro resist technology GmbH
上平 員丈 神奈川工科大学 坂本 昌 信越化学工業(株)
山内 一美 NTTアドバンステクノロジ(株) 小久保 光典 芝浦機械(株)
Carlos Pina-Hernandez HighRI Optics Inc. 伊藤 俊樹 キヤノン(株)
山田 快斗 HighRI Optics Inc. 大井 秀雄 (株)協同インターナショナル
宗近 恵子 HighRI Optics Inc.
村井 俊介 大阪公立大学
穂苅 遼平 (国研)産業技術総合研究所
桑野 玄気 (国研)産業技術総合研究所
栗原 一真 (国研)産業技術総合研究所

目次

はじめに
Preface

半導体産業におけるナノインプリントへの期待
はじめに
1.　AI/知能化社会をリードする半導体
　1.1　超高速処理AIデバイスにより知能化
　1.2　知能化と電化が進む自動車が半導体の第三の柱に
2.　超高速・大容量通信を可能にする光融合型3次元ハイブリッドデバイス技術の発展
　2.1　メモリへのナノインプリント実用化
　2.2　高速ネットワークに求められる光融合デバイスとナノインプリント
　2.3　自動車の自動運転を可能にするADASセンサーへの応用
　2.4　ミリ波，ビヨンド5G向け高速通信用アンテナ
　2.5　ヘテロジニアスインテグレーションがひらく，新たな世界
　おわりに

本書出版にあたって

第1編　ナノインプリント技術の基礎
第1章　ナノインプリント技術の歴史・研究～実用化のこれまで
　はじめに
1.　ナノインプリントの起源
　1.1　インプリントとは
　1.2　ナノインプリントの誕生と発展経緯
　　1.2.1　ナノインプリントの誕生
2.　ナノインプリントの進展
3.　ナノインプリントの成立要件
4.　産業応用へのあゆみ

第2章　熱・光（UV）ナノインプリント技術
第1節　熱およびダイレクトナノインプリントのメカニズムとプロセス
　はじめに
1.　基本的なプロセスメカニズム
　1.1　シミュレーションモデル
　1.2　成形の基本メカニズム
　　1.2.1　プレス圧力依存性
　　1.2.2　アスペクト比依存性
　　1.2.3　初期膜厚依存性
2.　応力による欠陥要因とプロセスの最適化
　2.1　高アスペクト比パターン作製における典型的欠陥
　　2.1.1　プロセスシーケンスと発生する応力・歪
　　2.1.2　プロセスシーケンスの最適化
　　2.1.3　高アスペクト比パターンの作製
　2.2　マイクロレンズ構造の成形
　　2.2.1　凹型マイクロレンズのナノインプリント例
　　2.2.2　凸型マイクロレンズのナノインプリント例
3.　成形時間依存
　3.1　実験方法
　3.2　計算モデル
　3.3　実験と計算結果
4.　ダイレクトナノインプリント
　4.1　ガラスへのダイレクトナノインプリント
　4.2　Auへのダイレクトナノインプリント
　4.3　有機半導体へのダイレクトナノインプリント
　まとめ

第2節　光（UV）ナノインプリントのメカニズムとプロセス
1.　光（UV）ナノインプリント
2.　レジストの充填プロセス
　2.1　液滴滴下方式での充填
　2.2　スピンコート法と凝縮性気体雰囲気中での充填
3.　UV照射プロセス 
4.　光硬化プロセス
5.　光（UV）ナノインプリントの課題と解決策
　5.1　気泡のトラップ
　5.2　残膜厚の均一化
6.　光（UV）ナノインプリント半導体製造への応用
　6.1　半導体配線工程への応用
　6.2　ダブルパターニング後のチョッピングへの応用
　まとめ

第3節　混合凝縮性ガス導入による低欠陥・高精度ナノインプリント技術
　はじめに
1.　凝縮性ガスを導入するナノインプリント
2.　混合凝縮性ガスを導入するナノインプリント
　おわりに

第3章　ナノインプリントにおける分子挙動・シミュレーション・測定法
第1節　分子動力学法によるナノインプリント成形，離型の分子挙動解析
　はじめに
1.　樹脂モデルと分子サイズ
2.　分子動力学解析
3.　限界解像度と分子サイズ
4.　連続体力学との比較
5.　離型と分子挙動
　おわりに

第2節　ナノインプリントによる原子ステップ解像の分子動力学解析
　はじめに
1.　分子動力学計算モデル
2.　計算結果
3.　表面形状の分析
　おわりに

第3節　分子動力学法によるガラス材料のナノインプリント成型とその限界解像度
　はじめに
1.　計算条件
2.　ガラス成型結果とその解像限界

第4節　UVナノインプリントにおける樹脂の光硬化特性のシミュレーション解析
　はじめに
1.　光硬化反応の確率論的シミュレーションモデル
2.　光硬化特性のシミュレーション解析
3.　光硬化性樹脂における反応阻害の再現
4.　光硬化性樹脂における硬化収縮の再現
　おわりに

第5節　レジンのUV収縮・熱変形・荷重変形による転写誤差シミュレーションのための物性測定
　はじめに
1.　測定を要するレジン特性・物性
　1.1　温度時刻歴
　1.2　熱膨張率
　1.3　即時弾性率
　1.4　動的粘弾性係数
　1.5　反応速度定数
　1.6　UV収縮時刻歴
2.　回転式レオメーター試験
　2.1　装置概略
　2.2　ロッドとギャップ長の選定
　2.3　光源の選定と設定
　2.4　レジンの塗布
　2.5　測定条件の設定
　2.6　再現性の確認
　おわりに

第6節　紫外線硬化性樹脂のナノレオロジー測定法
　はじめに
1.　ナノレオロジー測定法
2.　ナノ厚さの光硬化性液体膜のずり粘弾性測定
3.　ナノ厚さ光硬化性液体膜のUV硬化プロセスの測定
　おわりに

第4章　室温ナノインプリント技術
　はじめに
1.　PDMSソフトモールドを用いた室温ナノインプリント
　1.1　PDMSモールドの特性と作製
　1.2　HSQ転写パターン
　1.3　HSQ転写パターンのアニール特性
2.　室温ナノインプリントの応用展開

第5章　モールド技術
　はじめに
1.　原版モールドの作製
　1.1　半導体微細加工技術によるモールド作製
　1.2　ロールtoロール用モールド作製
　　1.2.1　薄膜ホイルのロールへの巻き付け
　　1.2.2　ロール基材面の直接加工
　　1.2.3　ロール基材のビーム加工
2.　レプリカモールドの必要性とその作製
　2.1　Ni電鋳によるレプリカ作製
　2.2　シリカ系材料によるレプリカ作製
　2.3　ソフトモールドによるレプリカ作製
　2.4　キャスティングによる樹脂材料を用いたレプリカ作製
　2.5　水溶性樹脂によるレプリカ作製
3.　曲面モールドの作製と転写
　3.1　電子線リソグラフィによる曲面形状モールドの作製
　3.2　曲面形状モールドによる微細構造形成
　まとめ

第6章　離型技術
第1節　離型技術のメカニズムと離型性の向上
　はじめに
1.　ナノインプリントにおける離型のメカニズム
2.　接着と剥離の物理化学と表面エネルギー 
3.　離型プロセスのシミュレーション解析
　3.1　破壊力学モデルによる解析
　3.2　接触境界モデルによる解析
　3.3　傾斜角付きモールドによる離型モデルの検証
4.　離型性向上のためのプロセス
　4.1　化学的手法による離型性向上
　　4.1.1　モールドの表面コーティング
　　4.1.2　偏析剤による欠陥低減
　　4.1.3　プライマーによる樹脂/基板密着性の向上
　4.2　力学的手法による離型性向上
　　4.2.1　モールド/樹脂材料の弾性率の影響と最適化
　　4.2.2　ピール離型
　　4.2.3　振動離型方法
5.　傾斜型回折格子構造の離型解析
　5.1　背景
　5.2.　傾斜型回折格子の離型シミュレーション解析
　　5.2.1　数値モデル
　　5.2.2　構造と材料
　5.3　解析結果
　　5.3.1　垂直離型と傾斜離型 
　　5.3.2　剥離（ピール）離型
　　5.3.3　へき開離型 
　5.4　まとめ
　まとめ

第2節　レプリカモールドの離型性の寿命予測
　はじめに
1.　繰り返しUV-NILによる耐久性評価
　1.1　実験方法
　1.2　実験結果
　1.3　まとめ
2.　ラインアンドスペース（L&S）金型を用いた寿命予測方法
　2.1　測定方向による接触角の違い
　2.2　レプリカモールドの作製
　2.3　繰り返しUV-NIL転写方法
　2.4　繰り返し転写結果
　2.5　まとめ
　おわりに

第7章　ディープラーニングを活用したナノインプリントプロセス・材料の最適化支援
　はじめに
1.　グリセリン添加ポリビニルアルコール（PVA）の低温ダイレクト・ナノインプリント
2.　ディープラーニングによるナノインプリント結果の予測
　2.1　グリセリン添加によるPVAの成形性
　2.2　ディープラーニングによる学習とその結果の検証
3.　シミュレーション予測とのハイブリッド化による予測範囲の拡張
　3.1　シミュレーションによる学習範囲の拡張
4.　プロセス・材料の設計支援とその検証
　おわりに

第2編　ナノインプリント技術の応用
第1章　AR/VR/MRデバイスへの応用
第1節　AR/MR/VRデバイスに用いられる光学系技術
　はじめに
1.　AR，MR，VR技術の概要と対応機器
　1.1　AR技術の概要と対応機器
　1.2　MR技術の概要と対応機器
　1.3　VR技術の概要と対応機器
2.　AR，MR，VR機器における光学系の役割
　2.1　AR，MR機器における光学系の役割
　2.2　VR機器における光学系の役割
3.　VR機器に用いられる光学系と仕組み
4.　AR，MR機器に用いられる光学系と仕組み
　4.1　ハーフミラー方式
　4.2　光導波路方式
　4.3　網膜投影方式
5.　ナノインプリント技術のAR/VRデバイスへの応用と課題
　5.1　AR/VRグラス用光導波路の構造
　　5.1.1　光導波路と表面構造
　5.2　表面レリーフ型（SRG）構造とナノインプリント
　5.3　ナノインプリントプロセス・材料に求められる性能
　おわりに

第2節　XRデバイスにおける光学樹脂への要求特性と高屈折率NI樹脂
　はじめに
1.　XRデバイスへのUVナノインプリント活用
　1.1　UV硬化型NI樹脂の光学応用
　1.2　UV硬化型NI樹脂の要求特性
2.　高屈折率NI樹脂の開発技術
　2.1　UV硬化樹脂の高屈折率化
　　2.1.1　屈折率を調整する元素
　　2.1.2　特殊な分子構造のモノマー，オリゴマー
　　2.1.3　ナノフィラー
　2.2　ナノインプリントプロセスへの適合
　　2.2.1　塗布
　　2.2.2　流動性
　　2.2.3　UV硬化
　　2.2.4　離型性
　2.3　高屈折率NI樹脂の例
　　2.3.1　溶媒系高屈折率NI樹脂の取り扱い方法と特徴
　　2.3.2　無溶媒系高屈折率NI樹脂の取り扱い方法と特徴
　2.4　高屈折率とナノインプリント性を両立する上での課題
　おわりに

第3節　ナノインプリントリソグラフィ適合超高屈折率樹脂
　はじめに
1.　高屈折率化へのアプローチと課題
2.　HighRI Optics社のナノインプリント適合高屈折率樹脂製品
3.　ナノインプリント適合高屈折率樹脂を使った応用例
　おわりに

第4節　国際学会に見るナノインプリントによるAR/VR用グラスの研究開発状況
　はじめに
1.　AR/VR用光導波路製造へのナノインプリントの必然性
2.　黎明期の取り組み（2000年代）
　2.1　SiO2-TiO2による回折格子の作製
　2.2　高屈折材料による傾斜型回折格子の作製
　2.3　ZnOナノパーティクル含有樹脂によるドットアレイの作製
　2.4　Al2O3ナノパーティクル含有樹脂によるマイクロコーン構造の作製
3.　2010年代の状況
4.　NNT（Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference）での発表
　4.1　NNT2019（Boston）での発表内容
　　4.1.1　WaveOptics社（イギリス）とそのパートナーによる大量生産システムの紹介
　　4.1.2　Dispelix社（フィンランド）によるAR導波路設計技術
　　4.1.3　SUSS MicroTec Solutions社（ドイツ）の高品質NILプロセス
　　4.1.4　Phylips社（オランダ）のSCILシステムと無機高屈折率レジストによるアプローチ
　　4.1.5　HighIR Optics社（米国 カリフォルニア）による高屈折率レジストの開発
　4.2　 NNT2021（Finland/Online）での発表
　　4.2.1　Inkron社（フィンランド）の高屈折率材料
　　4.2.2　EVG社（オーストリア）のSmartNILシステム
　　4.2.3　UMass（米国 マサチューセッツ）のTiO2ナノ粒子インクによるメタレンズの作製）
　　4.2.4　HighRI Optics社（米国 カリフォルニア）による高屈折率有機ポリマーの開発
　　4.2.5　Morphotonics社（オランダ）のRole to Plate製造システムの開発
　4.3　NNT2022（富山）での報告
　　4.3.1　HighRI Optics社（米国 カリフォルニア）の非金属高屈折率レジスト
　　4.3.2　UMass（米国 マサチューセッツ）での高屈折率材料へのアプローチ
　　4.3.3　Korea University（韓国）でのメタレンズへの取り組み
　　4.3.4　Inkron社（フィンランド）の屈折率整合樹脂のインクジェット塗布による残膜均一化
　　4.3.5　Morphotonics社（オランダ）のRole to Plate装置による取り組み
　4.4　NNT2023 （Boston）での発表
　　4.4.1　Sunny OmniLight Technology社（中国 上海）の紹介
　　4.4.2　Dispelix社（フィンランド）のARグラスの設計，製造に関する取り組み紹介
　　4.4.3　CINaM（フランス）の金属酸化物系高屈折材料の開発
　　4.4.4　東京応化工業（株）（日本）のナノ粒子含有型の高屈折率材料の開発
　　4.4.5　SUSS MicroTec Solutions社（ドイツ）のインクジェック塗布方式高屈折材料による残膜均一化
　　4.4.6　DELO社（ドイツ）の高屈折材料の紹介
　　4.4.7　HighRI Optics社（米国 カリフォルニア）の屈折率可変非金属高屈折率樹脂の開発
　4.5　NNT2024（Lund）での発表
　　4.5.1　中国からの発表
　　　4.5.1.1　Suzhou New Dimension Nano Technologies社（中国 蘇州）のNILファウンドリ
　　　4.5.1.2　Germanlitho社（中国 青島）の超高速熱NILシステム
　　　4.5.1.3　Hangzhou Ou Guang Xin Technology社（中国 杭州）のNILシステム紹介
　　4.5.2　Waveguide関連の発表
　　　4.5.2.1　Applied Materials社（米国 カリフォルニア）の材料装置技術
　　　4.5.2.2　CINaM（フランス）の高屈折材料
　　　4.5.2.3　UMass（米国 マサチューセッツ）のALDによる屈折率可変技術
　　　4.5.2.4　Pixelligent Technologies社（米国 メリーランド）のナノ粒子含有材料とその耐久性
　　　4.5.2.5　NTTアドバンステクノロジ（株）（日本）のTiO2ナノフィラー含有高屈折率材料
　　　4.5.2.6　HighRI Optics社（米国 カリフォルニア）の含有物フリーの屈折率可変材料
　　　4.5.2.7　東洋合成工業（株）（日本）の傾斜型回折格子対応レプリカモールド材料
　　　4.5.2.8　Inkron社（フィンランド）のインクジェット塗布型材料による格子深さ可変成成形
　　　4.5.2.9　scia Systems社（ドイツ）のモールド作製技術
　　　4.5.2.10　SUSS MicroTec Solutions社（ドイツ）のインクジェット対応高屈折率レジスト
　　　4.5.2.11　Dispelix 社（フィンランド）によるレプリカモールドの耐久性試験
5.　SPIE AR/VR/MRよりナノインプリントによるAR/VRグラス用光導波作製の現状
　5.1　はじめに
　5.2　Waveguideの各方式とアイグロー
　5.3　SRG方式，体積ホログラム方式の特徴と各社方式
　5.4　SRG構造の方式と光学特性を含めた特徴
　5.5　各種SRG構造のモールド作製
　5.6　導波路の基板材料とSRG構造の材料
　5.7　SPIE AR/VR/MR 2025（2025年1月 サンフランシスコ）での動向
6.　中国での開発状況 

第2章　光学・半導体・電子部材とその他の最新の応用展開
第1節　ナノアンテナへの応用
　はじめに
1.　ナノアンテナとは
　1.1　局在表面プラズモン共鳴
　1.2　ナノアンテナ
　1.3　ナノアンテナの作製方法
2.　ナノアンテナの応用
　2.1　蛍光制御
　　2.1.1　蛍光体薄膜との組み合わせ
　　2.1.2　YAG蛍光板との組み合わせ：指向性ある擬似白色光取り出し
　　2.1.3　まとめ
　2.2　メソポーラスシリカ薄膜とナノアンテナを組み合わせた蒸気圧応答光共鳴
　　2.2.1　多孔質材料を用いた気体の検知
　　2.2.2　試料作製
　　2.2.3　結果
　　2.2.4　まとめ
3.　ナノアンテナシール
　3.1　ナノアンテナシールの作製
　3.2　ナノアンテナシールの蛍光制御への応用
　　3.2.1　蛍光体基板との組み合わせ
　　3.2.2　伸縮による蛍光方向の制御
　　3.2.3　サンドイッチ構造による蛍光増強
　　3.2.4　まとめ
　おわりに

第2節　ホットエンボス加工を基盤としたワイヤーグリッド偏光シートの開発
　はじめに
1.　Ag ナノ粒子インクを利用した偏光シート
2.　無電解Ni めっき膜を利用した偏光シート
3.　三角波状ナノ構造を利用した偏光シート
　おわりに

第3節　ソフトインプリントリソグラフィー技術を利用した赤外用ワイヤグリッド偏光子の製作
　はじめに
1.　ゾル－ゲル法とソフトインプリント
2.　赤外用ワイヤグリッド偏光子の製作方法
3.　光学評価
　おわりに

第4節　空中映像用光学素子への応用
　はじめに
1.　2面コーナーリフレクタアレイ
　1.1　構造と製造方法
　1.2　結像原理
2.　2面コーナーリフレクタアレイによる空中映像の応用
　おわりに

第5節　ナノ金属積層構造の作製とプラズモンメモリ・フレキシブルインタポーザへの応用
　はじめに
1.　金属ナノパターンの積層方法
2.　マイクロオーダーの貫通穴電極の作製
　おわりに

第6節　半導体チップ実装における微細配線・バンプ形成への応用
　はじめに
1.　背景
　1.1　半導体のIoT応用とチップ低温接合
　1.2　インプリント法によるバンプの狭ピッチ化
　1.3　ハードレプリカからソフトレプリカへ
2.　実験方法
3.　実験結果と考察
　3.1　導電性ペーストのかきとり性
　3.2　段差を有する基板への配線転写
　3.3　微細・高アスペクトバンプ形成
　おわりに

第7節　有機基板超微細配線形成への応用
　はじめに
1.　現行の配線形成方法とナノインプリントダマシン工法
　1.1　現行の配線形成方法と配線微細化の課題
　1.2　ナノインプリントを応用した配線形成方法
2.　実験方法
　2.1　基材とモールド
　2.2　ナノインプリント装置と手法
　2.3　銅めっきと表層除去
3.　結果と考察
　3.1　インプリントによる転写性
　3.2　銅めっきと表層除去
　おわりに

第8節　ポリマー製フォトニック結晶のDNAセンシングデバイスへの応用
　はじめに
1.　フォトニック結晶を用いたセンシングデバイスの開発
2.　ポリマー製PhCを用いたDNAセンシング
　2.1　プローブDNA固定化方法の検討
　2.2　プローブDNA固定化方法によるDNAセンシング性能比較
　おわりに

第9節　バイオミメティクスと表面構造設計
　はじめに
1.　バイオミメティクスの位置づけ
2.　サメの流体解析
3.　バイオフィルム
4.　バイオフィルムの成長を抑制する表面構造
　おわりに

第3章　ナノインプリントの産業応用を促進する材料・モールド・装置の開発動向
第1節　Commercial NIL resists for Thermal and UV Nanoimprint Lithography
1.　Commercial NIL resist materials applicable for different Nanoimprint Lithography Techniques
　1.1　Thermoplastic and thermoset NIL resists
　1.2　Thermal and UV-activated thermosetting NIL resists
　1.3　Tailored resist formulations for industrial UV-NIL techniques

第2節　UV硬化型液状シリコーンゴム材料とソフトモールド応用
　はじめに
1.　シリコーンゴム材料
　1.1　シリコーンの特徴
　1.2　シリコーンゴムの硬化機構
　　1.2.1　UV付加硬化
　　1.2.2　UVラジカル硬化
2.　UV硬化型液状シリコーンゴム材料
3.　ナノインプリントのソフトモールドへの応用
　おわりに

第3節　ナノインプリントプロセス・装置の開発とその応用例  ウェーハレベルレンズ，LEDの高輝度化，大面積ワイヤグリッド偏光板
　はじめに　「ナノインプリント技術」
1.　UV硬化樹脂を用いたウェーハレベルレンズ（WLL）成形
　1.1　小型カメラモジュールとWLL
　1.2　WLL成形技術
　1.3　WLL成形装置
　1.4　WLLの高精度化
　1.5　まとめ（UV硬化樹脂を用いたWLL成形）
2.　LEDの高輝度化，深紫外LEDへの適用
　2.1　フィルムモールドを使用したナノインプリントプロセス
　2.2　LEDの高輝度化
　2.3　まとめ（LEDの高輝度化，深紫外LEDへの適用）
3.　ワイヤグリッド偏光板（WGP）製作
　3.1　フィルムモールドを使用したナノインプリントプロセスによるG2サイズのWGP製造
　3.2　まとめ（WGP製作）

第4節　半導体製造用ナノインプリントリソグラフィ技術の最新開発状況
　はじめに
1.　JFILプロセスの概要
2.　ナノインプリント装置の構成
3.　マスクの構造及び押印方法
4.　レジストとプロセスの開発
5.　ナノインプリントリソグラフィの性能課題と対策
　5.1　欠陥（Defectivity）
　　5.1.1　マスク欠陥
　　5.1.2　インプリント欠陥
　　5.1.3　欠陥性能の推移
　5.2　パーティクル（Particle）
　　5.2.1　パーティクル性能の推移
　5.3　オーバーレイ（Overlay）
　　5.3.1　オーバーレイ性能の推移
　5.4　スループット（Throughput）
　　5.4.1　レジストドロップの小滴化
　　5.4.2　クラスタシステム
　　5.4.3　スループット向上の推移
　おわりに

第5節　ナノインプリント技術による製品開発の進め方
　はじめに
1.　ナノインプリントの方式
2.　熱ナノインプリントの製品開発
　2.1　樹脂材料の選定
　2.2　熱収縮の課題
3.　UVナノインプリントの製品開発
　3.1　転写方式と樹脂材料の選定
　　3.1.1　ハードコンタクト
　　3.1.2　ソフトコンタクト
　　3.1.3　ロールtoロール
　おわりに
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10月30日

【オンデマンド配信】高分子の接着の基礎と接着性改善に向けた界面の構造評価・表面処理の応用

【オンデマンド配信】　※会社・自宅にいながら学習可能です※

化学・材料
セミナー
番号 B251052
開催日
10月30日

＜VR活用の検討、XR・メタバースへ！＞バーチャルリアリティ：ＸＲ技術入門～基礎から最新動向まで～

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251061
開催日
10月31日
11月18日

セラミックグリーンシート成形技術の総合知識

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 S250900
開催日
09月29日
10月09日
10月20日
10月31日

溶解度パラメータ（SP値・HSP値）の基礎および機能性材料開発のための活用ノウハウ最前線2ヵ月連続セミナー

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

医薬品 化学・材料
セミナー
番号 B251020
開催日
10月20日
10月31日

溶解度パラメータ（HSP）の機能性材料開発への応用最前線

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

医薬品 化学・材料
セミナー
番号 B251031
開催日
10月31日

強誘電材料の特性・基礎と強誘電デバイス・二次元強誘電体の作製および応用展望

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 Z251091
開催日
10月31日

電気の専門外の方のための電気回路の基礎講座【LIVE配信】

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 B251077
開催日
10月17日
11月04日

次世代通信（６G）に要求される高周波対応部品・部材の特性と技術動向

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251107
開催日
11月07日

＜現場実務で役立つ・使える＞FT-IR測定・同定の実務実践とアプリケーションテクニック・コツ

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251113
開催日
11月13日

磁気機能性流体の基礎と応用事例および活用に向けた応用設計の勘どころ

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251078
開催日
10月28日
11月13日

シランカップリング剤の反応、処理層、表面被覆状態、効果の解析

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251114
開催日
11月14日
11月14日

ウェットコーティングの全体技術を速習！単層・重層塗布方式各々の特徴と関連特許、塗布故障の原因と対策を学ぶ

受講可能な形式：【会場受講】or【Live配信】

化学・材料
セミナー
番号 A251119
開催日
11月19日

6G・AI・EV時代に求められる積層セラミックコンデンサ(MLCC)技術

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 B251120
開催日
11月20日

粘着・剥離現象の基礎と粘着テープ(粘着剤)の設計面/使用面の要点と評価法＜サンプル配付：手に取るようにわかる実演講義＞

受講可能な形式：【Live配信】のみ

化学・材料
セミナー
番号 O251035
開催日
11月21日

【オンデマンド配信】特許情報からみた５Ｇ材料開発戦争［2021］

ビジネススキル・新規事業 エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 O251036
開催日
11月21日

【オンデマンド配信】特許情報からみた5G・6G材料開発戦争 ［2022］

ビジネススキル・新規事業 エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251121
開催日
11月21日

トライボロジーの基礎とプラスチック材料の摩擦摩耗特性向上

受講可能な形式：【Live配信】のみ

化学・材料
セミナー
番号 B251151
開催日
11月21日
12月09日

接着の基本的な考え方と接着改良方法

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 O251030
開催日
11月21日

【オンデマンド配信】特許情報からみた 5G 材料３セミナーセット申込みページ

【オンデマンド配信】※会社・自宅にいながら学習可能です※

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 Z251185
開催日
11月25日

高出力モータの性能と品質を極める！【LIVE配信】

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 B251155
開催日
11月25日

DX/AI時代のエレクトロニクス・半導体実装技術最新パッケージ技術とチップレット集積の課題と展望

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251145
開催日
11月25日

高性能有機半導体の分子設計・合成・評価とデバイス作製・応用展開

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251146
開催日
11月26日

ものづくりと生産技術～塗装・加飾技術の最新動向～～人とAIの融合する新たな未来へ～

受講可能な形式：【会場受講】のみ

化学・材料
セミナー
番号 B251136
開催日
11月26日
12月09日

物体色の測定(測色)・評価・クレーム対策

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

化粧品 化学・材料
セミナー
番号 B251157
開催日
11月27日

光学薄膜の特性解析と最適設計

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251197
開催日
11月27日
12月11日

ヒートシールの基礎、接合のメカニズムと品質管理・不具合対策

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251168
開催日
11月28日
12月15日

半導体パッケージ技術の進化とそれを支える要素技術

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251148
開催日
11月28日

金属ナノ粒子・微粒子の合成法、構造解析、焼結法、分散安定化、電子材料や接合材料としての応用

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251295
開催日
12月05日

異種材料接着・接合理論と強度・信頼性・耐久性向上、寿命予測法

受講可能な形式：【ライブ配信（アーカイブ配信付）】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 F251208
開催日
12月08日

【名古屋開催】塗料・塗装・塗膜（製品）の基礎知識、試験規格とその評価方法、塗料・塗膜不良への対策

受講可能な形式：【会場受講】

化学・材料
セミナー
番号 B251208
開催日
12月08日
12月23日

PFAS（有機フッ素化合物）規制の動向と半導体産業への影響

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251210
開催日
12月10日

電子機器における実践的な熱設計・熱対策技術：発熱の削減や放熱設計の勘所、放熱材料の選定・使用法など

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 A251221
開催日
12月11日

大気圧プラズマの基礎と最新応用技術

受講可能な形式：【Live配信】のみ

化学・材料 | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 B251211
開催日
12月11日

薄膜の剥離メカニズムと密着性の評価、改善手法

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251252
開催日
12月12日

ガスバリア技術の基礎と活用動向およびウェットプロセスによるウルトラ・ハイバリア技術

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251232
開催日
12月12日

超臨界二酸化炭素を用いた金属被覆技術の最新動向

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 S251200
開催日
12月15日
01月21日

機能性色素の基礎と応用・研究最前線2か月連続セミナー

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251285
開催日
12月15日
01月06日

ハードコート剤の開発、材料設計、調製、特性評価、高機能化、応用展開

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 A251216
開催日
12月16日

自動車用パワーエレクトロニクスの基礎と技術動向

受講可能な形式：【会場受講】

エレクトロニクス
セミナー
番号 B251279
開催日
12月19日

濡れ現象の基礎と測定評価法・応用事例

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251223
開催日
12月23日

次世代リソグラフィ技術の最新動向と今後の展望 NEW

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251253
開催日
12月23日
01月28日

泡・泡沫の特異的な性質の理解と起泡・消泡技術 NEW

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

医薬品 | 化粧品 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 B260145
開催日
01月15日

【防水設計〈初級＋中級編〉】電子機器における防水設計の基礎と応用設計・不具合対策 NEW

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 S260100
開催日
01月15日
02月25日

電子機器における防水設計の基礎と応用設計・実践テクニック2か月連続セミナー

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 B260141
開催日
01月21日

機能性色素の各応用に適した分子設計指針と合成、応用展開、研究最前線

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260131
開催日
01月21日

接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260133
開催日
01月23日
02月09日

半導体プロセスにおける検査・解析技術の基礎と最新技術動向〜光と電子で「見る」技術の最先端〜

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260136
開催日
01月26日

ファインバブルの特性・挙動と発生技術・測定評価法・活用のポイント

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 B260139
開催日
01月29日

精密塗布における脱気・脱泡技術

受講可能な形式：【会場受講】のみ

化学・材料
セミナー
番号 A260206
開催日
02月06日

精密研磨への磁気機能性流体応用と複雑形状研磨の精度向上・自動化および高速真円加工技術 NEW

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260212
開催日
02月12日
02月26日

気体の吸着・脱着 基礎と応用：二酸化炭素の効率的な回収を目指して

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】

化学・材料
セミナー
番号 B260222
開催日
02月12日

有機EOポリマーの基礎と超高速光制御デバイスへの応用

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260235
開催日
02月25日

【防水設計〈上級編〉】電子機器における防水構造の詳細設計と実践テクニック NEW

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 O251037
開催日
03月13日

【オンデマンド配信】特許情報からみたBeyond 5G 材料開発戦争［2023］

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M095
発刊
2025年09月

ナノインプリント技術の基礎と応用最前線

エレクトロニクス | 化学・材料
eBook
番号 EM088a
配信年月
2024年08月

【製本版 ＋ ebook版】インクジェットインクの最適化 千態万様［進歩版］

化学・材料
書籍
番号 M090
発刊
2024年06月

次世代ウェアラブルデバイスに向けたフレキシブル・伸縮性エレクトロニクス技術とセンサ開発

～生体データを連続的・高精度に違和感なくセンシングするために～
～皮膚/生体貼付型・衣服型など未来のウェアラブルセンサに向けて～

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M083
発刊
2023年08月

半導体デバイス製造を支えるCMP技術の開発動向

～微細化・高集積化・難加工基板への対応で重要性が増すCMP技術の進展～

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M085
発刊
2023年07月

匂い・香りの科学と評価・可視化・応用技術

～センシング技術の進展と呼気ガス分析・香り再現・演出等への展開～

化粧品 エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 M084
発刊
2023年04月

車載用LiDARの市場・技術トレンド

～急速な成長を見せる車載LiDAR市場と採用・搭載レイアウト例、要素技術と低コスト化の進展、主要企業の製品動向まで～

エレクトロニクス
書籍
番号 M080
発刊
2023年02月

光半導体とそのパッケージング・封止技術

～LED,レーザ,フォトダイオード,光ICなど、光半導体の種類・原理・用途から
　 封止・材料技術、ディスプレイや高速通信など先端応用に関わる開発課題まで～

化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 M072
発刊
2022年12月

金属ナノ粒子の合成・設計・制御と応用技術

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M079
発刊
2022年11月

半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M078
発刊
2022年06月

高周波対応基板の材料・要素技術の開発動向

ビジネススキル・新規事業 エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 M071
発刊
2021年03月

超撥水・超撥油・滑液性表面の技術（第2巻）

～高耐久、簡便・高生産性、液滴除去性など実用的な表面処理技術の最前線～

化学・材料
書籍
番号 M069
発刊
2021年03月

小型化・集密化する電子デバイスを支える熱輸送・冷却技術の進化と新展開

・小型化/高機能化する電子デバイスに求められるサーマルマネジメント技術の進化
・ヒートパイプの/ 極薄化 / 自励振動型 / ループ型、 並列細管熱輸送デバイスの開発動向
・沸騰冷却 / 磁性流体 / 電気流体力学（EHD） 現象を利用した、熱輸送デバイスの開発
・新しい熱輸送現象として注目される「表面フォノンポラリトン」の原理と応用展開
・5G 対応スマートフォンおよびミニ基地局の放熱対策部品の事例を製品分解をもとに解説

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 Z186
発刊
2020年10月

積層セラミックコンデンサ（MLCC）の材料・製造・実装技術と最新動向

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M061
発刊
2020年08月

環境発電・エネルギーハーベスティング技術―デバイス開発と応用展開―

～各種発電技術の仕組み・特徴、市場動向、先進的なデバイス・応用開発事例まで～

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 M062
発刊
2020年06月

次世代FPCの市場と材料・製造技術動向

エレクトロニクス
書籍
番号 Z182
発刊
2018年03月

レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

エレクトロニクス | 化学・材料
通信講座
番号 EV250171
開講日
01月22日
受付終了

≪解説動画９時間で学ぶeラーニング講座≫Excelを使った乾燥技術の評価実例とトラブル対策－乾燥技術のすべて。2025－

　
　≪解説動画で学ぶeラーニング講座≫
　第１講　乾燥の基礎
　第２講　乾燥機の選定
　第３講　乾燥機の設計

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
通信講座
番号 EV250471
開講日
04月22日
受付終了

≪解説動画９時間で学ぶeラーニング講座≫Excelを使った乾燥技術の評価実例とトラブル対策－乾燥技術のすべて。2025－

　
　≪解説動画で学ぶeラーニング講座≫
　第１講　乾燥の基礎
　第２講　乾燥機の選定
　第３講　乾燥機の設計

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
通信講座
番号 EV250771
開講日
07月25日
受付終了

≪解説動画９時間で学ぶeラーニング講座≫Excelを使った乾燥技術の評価実例とトラブル対策－乾燥技術のすべて。2025－

　
　≪解説動画で学ぶeラーニング講座≫
　第１講　乾燥の基礎
　第２講　乾燥機の選定
　第３講　乾燥機の設計

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 O250821
開催日
10月30日

【オンデマンド】 リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度に向けた応用技術、今後の展望

受講可能な形式：【オンデマンド】

エレクトロニクス
セミナー
番号 O251070
開催日
10月30日

【オンデマンド配信】高分子の接着の基礎と接着性改善に向けた界面の構造評価・表面処理の応用

【オンデマンド配信】　※会社・自宅にいながら学習可能です※

化学・材料
セミナー
番号 B251052
開催日
10月30日

＜VR活用の検討、XR・メタバースへ！＞バーチャルリアリティ：ＸＲ技術入門～基礎から最新動向まで～

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251061
開催日
10月31日
11月18日

セラミックグリーンシート成形技術の総合知識

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 S250900
開催日
09月29日
10月09日
10月20日
10月31日

溶解度パラメータ（SP値・HSP値）の基礎および機能性材料開発のための活用ノウハウ最前線2ヵ月連続セミナー

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

医薬品 化学・材料
セミナー
番号 B251020
開催日
10月20日
10月31日

溶解度パラメータ（HSP）の機能性材料開発への応用最前線

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

医薬品 化学・材料
セミナー
番号 B251031
開催日
10月31日

強誘電材料の特性・基礎と強誘電デバイス・二次元強誘電体の作製および応用展望

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 Z251091
開催日
10月31日

電気の専門外の方のための電気回路の基礎講座【LIVE配信】

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 B251077
開催日
10月17日
11月04日

次世代通信（６G）に要求される高周波対応部品・部材の特性と技術動向

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251107
開催日
11月07日

＜現場実務で役立つ・使える＞FT-IR測定・同定の実務実践とアプリケーションテクニック・コツ

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251113
開催日
11月13日

磁気機能性流体の基礎と応用事例および活用に向けた応用設計の勘どころ

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251078
開催日
10月28日
11月13日

シランカップリング剤の反応、処理層、表面被覆状態、効果の解析

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251114
開催日
11月14日
11月14日

ウェットコーティングの全体技術を速習！単層・重層塗布方式各々の特徴と関連特許、塗布故障の原因と対策を学ぶ

受講可能な形式：【会場受講】or【Live配信】

化学・材料
セミナー
番号 A251119
開催日
11月19日

6G・AI・EV時代に求められる積層セラミックコンデンサ(MLCC)技術

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 B251120
開催日
11月20日

粘着・剥離現象の基礎と粘着テープ(粘着剤)の設計面/使用面の要点と評価法＜サンプル配付：手に取るようにわかる実演講義＞

受講可能な形式：【Live配信】のみ

化学・材料
セミナー
番号 O251035
開催日
11月21日

【オンデマンド配信】特許情報からみた５Ｇ材料開発戦争［2021］

ビジネススキル・新規事業 エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 O251036
開催日
11月21日

【オンデマンド配信】特許情報からみた5G・6G材料開発戦争 ［2022］

ビジネススキル・新規事業 エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251121
開催日
11月21日

トライボロジーの基礎とプラスチック材料の摩擦摩耗特性向上

受講可能な形式：【Live配信】のみ

化学・材料
セミナー
番号 B251151
開催日
11月21日
12月09日

接着の基本的な考え方と接着改良方法

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 O251030
開催日
11月21日

【オンデマンド配信】特許情報からみた 5G 材料３セミナーセット申込みページ

【オンデマンド配信】※会社・自宅にいながら学習可能です※

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 Z251185
開催日
11月25日

高出力モータの性能と品質を極める！【LIVE配信】

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 B251155
開催日
11月25日

DX/AI時代のエレクトロニクス・半導体実装技術最新パッケージ技術とチップレット集積の課題と展望

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251145
開催日
11月25日

高性能有機半導体の分子設計・合成・評価とデバイス作製・応用展開

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251146
開催日
11月26日

ものづくりと生産技術～塗装・加飾技術の最新動向～～人とAIの融合する新たな未来へ～

受講可能な形式：【会場受講】のみ

化学・材料
セミナー
番号 B251136
開催日
11月26日
12月09日

物体色の測定(測色)・評価・クレーム対策

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

化粧品 化学・材料
セミナー
番号 B251157
開催日
11月27日

光学薄膜の特性解析と最適設計

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251197
開催日
11月27日
12月11日

ヒートシールの基礎、接合のメカニズムと品質管理・不具合対策

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251168
開催日
11月28日
12月15日

半導体パッケージ技術の進化とそれを支える要素技術

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251148
開催日
11月28日

金属ナノ粒子・微粒子の合成法、構造解析、焼結法、分散安定化、電子材料や接合材料としての応用

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251295
開催日
12月05日

異種材料接着・接合理論と強度・信頼性・耐久性向上、寿命予測法

受講可能な形式：【ライブ配信（アーカイブ配信付）】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 F251208
開催日
12月08日

【名古屋開催】塗料・塗装・塗膜（製品）の基礎知識、試験規格とその評価方法、塗料・塗膜不良への対策

受講可能な形式：【会場受講】

化学・材料
セミナー
番号 B251208
開催日
12月08日
12月23日

PFAS（有機フッ素化合物）規制の動向と半導体産業への影響

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251210
開催日
12月10日

電子機器における実践的な熱設計・熱対策技術：発熱の削減や放熱設計の勘所、放熱材料の選定・使用法など

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 A251221
開催日
12月11日

大気圧プラズマの基礎と最新応用技術

受講可能な形式：【Live配信】のみ

化学・材料 | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 B251211
開催日
12月11日

薄膜の剥離メカニズムと密着性の評価、改善手法

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251252
開催日
12月12日

ガスバリア技術の基礎と活用動向およびウェットプロセスによるウルトラ・ハイバリア技術

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251232
開催日
12月12日

超臨界二酸化炭素を用いた金属被覆技術の最新動向

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 S251200
開催日
12月15日
01月21日

機能性色素の基礎と応用・研究最前線2か月連続セミナー

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251285
開催日
12月15日
01月06日

ハードコート剤の開発、材料設計、調製、特性評価、高機能化、応用展開

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 A251216
開催日
12月16日

自動車用パワーエレクトロニクスの基礎と技術動向

受講可能な形式：【会場受講】

エレクトロニクス
セミナー
番号 B251279
開催日
12月19日

濡れ現象の基礎と測定評価法・応用事例

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251223
開催日
12月23日

次世代リソグラフィ技術の最新動向と今後の展望 NEW

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B251253
開催日
12月23日
01月28日

泡・泡沫の特異的な性質の理解と起泡・消泡技術 NEW

受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

医薬品 | 化粧品 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 B260145
開催日
01月15日

【防水設計〈初級＋中級編〉】電子機器における防水設計の基礎と応用設計・不具合対策 NEW

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 S260100
開催日
01月15日
02月25日

電子機器における防水設計の基礎と応用設計・実践テクニック2か月連続セミナー

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 B260141
開催日
01月21日

機能性色素の各応用に適した分子設計指針と合成、応用展開、研究最前線

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260131
開催日
01月21日

接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260133
開催日
01月23日
02月09日

半導体プロセスにおける検査・解析技術の基礎と最新技術動向〜光と電子で「見る」技術の最先端〜

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260136
開催日
01月26日

ファインバブルの特性・挙動と発生技術・測定評価法・活用のポイント

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | エネルギー・環境・機械
セミナー
番号 B260139
開催日
01月29日

精密塗布における脱気・脱泡技術

受講可能な形式：【会場受講】のみ

化学・材料
セミナー
番号 A260206
開催日
02月06日

精密研磨への磁気機能性流体応用と複雑形状研磨の精度向上・自動化および高速真円加工技術 NEW

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260212
開催日
02月12日
02月26日

気体の吸着・脱着 基礎と応用：二酸化炭素の効率的な回収を目指して

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】

化学・材料
セミナー
番号 B260222
開催日
02月12日

有機EOポリマーの基礎と超高速光制御デバイスへの応用

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エレクトロニクス | 化学・材料
セミナー
番号 B260235
開催日
02月25日

【防水設計〈上級編〉】電子機器における防水構造の詳細設計と実践テクニック NEW

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

エレクトロニクス
セミナー
番号 O251037
開催日
03月13日

【オンデマンド配信】特許情報からみたBeyond 5G 材料開発戦争［2023］

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M095
発刊
2025年09月

ナノインプリント技術の基礎と応用最前線

エレクトロニクス | 化学・材料
eBook
番号 EM088a
配信年月
2024年08月

【製本版 ＋ ebook版】インクジェットインクの最適化 千態万様［進歩版］

化学・材料
書籍
番号 M090
発刊
2024年06月

次世代ウェアラブルデバイスに向けたフレキシブル・伸縮性エレクトロニクス技術とセンサ開発

～生体データを連続的・高精度に違和感なくセンシングするために～
～皮膚/生体貼付型・衣服型など未来のウェアラブルセンサに向けて～

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M083
発刊
2023年08月

半導体デバイス製造を支えるCMP技術の開発動向

～微細化・高集積化・難加工基板への対応で重要性が増すCMP技術の進展～

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M085
発刊
2023年07月

匂い・香りの科学と評価・可視化・応用技術

～センシング技術の進展と呼気ガス分析・香り再現・演出等への展開～

化粧品 エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 M084
発刊
2023年04月

車載用LiDARの市場・技術トレンド

～急速な成長を見せる車載LiDAR市場と採用・搭載レイアウト例、要素技術と低コスト化の進展、主要企業の製品動向まで～

エレクトロニクス
書籍
番号 M080
発刊
2023年02月

光半導体とそのパッケージング・封止技術

～LED,レーザ,フォトダイオード,光ICなど、光半導体の種類・原理・用途から
　 封止・材料技術、ディスプレイや高速通信など先端応用に関わる開発課題まで～

化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 M072
発刊
2022年12月

金属ナノ粒子の合成・設計・制御と応用技術

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M079
発刊
2022年11月

半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M078
発刊
2022年06月

高周波対応基板の材料・要素技術の開発動向

ビジネススキル・新規事業 エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 M071
発刊
2021年03月

超撥水・超撥油・滑液性表面の技術（第2巻）

～高耐久、簡便・高生産性、液滴除去性など実用的な表面処理技術の最前線～

化学・材料
書籍
番号 M069
発刊
2021年03月

小型化・集密化する電子デバイスを支える熱輸送・冷却技術の進化と新展開

・小型化/高機能化する電子デバイスに求められるサーマルマネジメント技術の進化
・ヒートパイプの/ 極薄化 / 自励振動型 / ループ型、 並列細管熱輸送デバイスの開発動向
・沸騰冷却 / 磁性流体 / 電気流体力学（EHD） 現象を利用した、熱輸送デバイスの開発
・新しい熱輸送現象として注目される「表面フォノンポラリトン」の原理と応用展開
・5G 対応スマートフォンおよびミニ基地局の放熱対策部品の事例を製品分解をもとに解説

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 Z186
発刊
2020年10月

積層セラミックコンデンサ（MLCC）の材料・製造・実装技術と最新動向

エレクトロニクス | 化学・材料
書籍
番号 M061
発刊
2020年08月

環境発電・エネルギーハーベスティング技術―デバイス開発と応用展開―

～各種発電技術の仕組み・特徴、市場動向、先進的なデバイス・応用開発事例まで～

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
書籍
番号 M062
発刊
2020年06月

次世代FPCの市場と材料・製造技術動向

エレクトロニクス
書籍
番号 Z182
発刊
2018年03月

レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

エレクトロニクス | 化学・材料
通信講座
番号 EV250171
開講日
01月22日
受付終了

≪解説動画９時間で学ぶeラーニング講座≫Excelを使った乾燥技術の評価実例とトラブル対策－乾燥技術のすべて。2025－

　
　≪解説動画で学ぶeラーニング講座≫
　第１講　乾燥の基礎
　第２講　乾燥機の選定
　第３講　乾燥機の設計

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
通信講座
番号 EV250471
開講日
04月22日
受付終了

≪解説動画９時間で学ぶeラーニング講座≫Excelを使った乾燥技術の評価実例とトラブル対策－乾燥技術のすべて。2025－

　
　≪解説動画で学ぶeラーニング講座≫
　第１講　乾燥の基礎
　第２講　乾燥機の選定
　第３講　乾燥機の設計

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械
通信講座
番号 EV250771
開講日
07月25日
受付終了

≪解説動画９時間で学ぶeラーニング講座≫Excelを使った乾燥技術の評価実例とトラブル対策－乾燥技術のすべて。2025－

　
　≪解説動画で学ぶeラーニング講座≫
　第１講　乾燥の基礎
　第２講　乾燥機の選定
　第３講　乾燥機の設計

エレクトロニクス | 化学・材料 | エネルギー・環境・機械

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