三次元集積化プロセスの基礎と
先進半導体パッケージの最新動向
先進パッケージ開発の経緯を整理
三次元集積化プロセス、Fan-Out型パッケージの基礎を再訪
今後の開発動向と市場動向も解説
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| 日時 | 【ライブ配信】 2026年10月8日(木) 10:30~16:30 |
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| 配布資料 | ・PDFテキスト(印刷不可・編集不可) ※開催2日前を目安に、S&T会員のマイページよりダウンロード可となります。 ※アーカイブ配信受講の場合は配信開始日からダウンロード可となります。 | |||
| オンライン配信 | 本セミナーはライブ配信 or アーカイブ配信の選択受講となります。 Zoomによるライブ配信 ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください) アーカイブ配信 ►受講方法・視聴環境確認(申込み前に必ずご確認ください)
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| 備考 | ※講義の録画・録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。 | |||
| 得られる知識 | ・半導体デバイスパッケージの役割の変化の推移 ・三次元集積化の基幹プロセスの基礎と現状の課題 ・配線階層の境界領域を横断する視座 ・今さら聞けないWLPプロセス構築の留意点 | |||
| 対象 | ・最近の先進パッケージの動向に関心のある装置、材料メーカー関連企業の方 ・半導体パッケージに関心のある若手から中堅のプロセス技術者 ・半導体パッケージ関連市場へ新規参入をお考えの装置、材料関連企業の方 | |||
セミナー講師
[プロフィール]
1985年(株)東芝入社。Siウエーハの高品質化業務を経て、CMOSデバイスのメタライゼーションプロセス開発を中心に、メモリ、ロジックの微細化、量産技術、歩留り向上、品質事故対策、協業企業への技術移管、企業間共同開発に従事。2000年以降、ロジックデバイスのLow-k CPI低減開発と並行して、Micro-Bump、RDL、TSV、FOWLPを中心に“中間領域技術”の開拓を主導。微細化だけでは得られない半導体製品の付加価値創出を推進。2017年東芝メモリ(株)(現キオクシア)へ転籍。2018年から神奈川工科大学非常勤講師を兼務。2019年定年退職。2020年から伴走コンサルティング事業(ezCoworks)を運営。
セミナー趣旨
最近のパッケージ関連の主要カンファレンスではデータセンターの電力消費抑制が重要課題となり、Co-Packaged Opticsや冷却構造などパッケージレベルの課題が集中的に議論される場面が増えています。 また、先端、非先端デバイスのMix & MatchによるSoC(System-on-a-Chip)開発の効率化に活路を見出すチップレットインテグレーションは民生機器から車載、メディカル、社会インフラに至る多様な市場でイノベーション創出への寄与が期待されており、商流の早期確立が求められています。 こうした状況を踏まえ、本セミナーは三次元集積化プロセスやFan-Out型モールドパッケージの基礎を再整理し、今後の先進半導体パッケージの動向を俯瞰する“中間領域の視座”を参加者の皆様と共有したいと考えています。
セミナー講演内容
1.1 Current Topics(注目記事から)
1.2 最近の先進半導体デバイスパッケージ
2.中間領域技術の進展による価値創出
2.1 “後工程”プロセスの高品位化
2.2 デバイスレベル性能向上とシステムレベル性能向上
2.3 チップ冷却システム事例
3.三次元集積化プロセスの基礎
3.1 ロジックとメモリのチップ積層SoC (RDL、Micro-bumping、Mass reflow積層導入の原点)
3.2 Via middle、Backside ViaのTSVプロセス選択(CIS、HBMからBSPDNへ)
3.3 Wafer Level Hybrid Bonding (CIS、NANDメモリのデバイス性能向上)
3.4 CoW(D2W) Hybrid Bonding(SRAM増強、異種チップ積層)の課題
3.5 Si/OrganicインタポーザーからSiブリッジによるモールドインタポーザへ(レティクルサイズ制約の解放)
3.6 RDL微細化、多層化(ダマシンプロセス導入の要否)
4.Fan-Out(FO)型パッケージの基礎
4.1 FOプロセス選択肢の拡張
4.2 封止材料起因の課題
4.3 Through Mold Interconnect形成による三次元FOパッケージ
4.4 メモリ、パワーデバイスへ浸透するFOパッケージ
5.Panel Level Process/Package (PLP)の高品位化
5.1 モールド樹脂基板の反り低減の課題
5.2 マスクレス露光によるインテグレーション規模拡大
6.今後の開発動向と市場動向
6.1 “ガラス基板プロセス”の課題整理
6.2 Co-Packaged Opticsの課題とPIC変調素子材料の話題(TFLN、BTO他)
6.3 AI市場を支配するメモリの動向(LPW、HBF、HBS)
□ 質疑応答 □
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