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エアロゾルデポジション法の成膜原理と
プロセス制御指針・応用展開
~粒子挙動やプロセス条件と膜特性の関係およびプロセス制御に向けた示唆~
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講演を通じて、プロセス設計・最適化に向けた示唆や知見を得ることができる内容です。
| 日時 | 2026年10月29日(木) 23:59まで申込み受付 【映像時間:4時間3分】 |
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|---|---|---|
| 収録日時 | 2026年7月15日 | |
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受講料(税込)
各種割引特典
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55,000円
S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について
定価:本体50,000円+税5,000円
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定価:本体40,000円+税4,000円 E-Mail案内登録価格:本体38,200円+税3,820円 ※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。 ※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。 ※他の割引は併用できません。 |
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| 配布資料 | PDFテキスト(印刷可・編集不可):マイページよりダウンロード 講師メールアドレスの掲載:有 | |
| オンライン配信 | オンデマンド配信 ►受講方法・視聴環境確認(申込み前に必ずご確認ください) | |
| 備考 | ※WEBセミナーの録音・撮影、複製は固くお断りいたします。 ※講師の所属などは、収録当時のものをご案内しております。 | |
| 得られる知識 | 新規の成膜技術であるエアロゾルデポジション法の基礎(成膜の特徴や装置構成、成膜の原理)や応用展開についての事例などの知識が習得できる。 | |
| 対象 | 様々な分野において、加熱などが制限された基材へのセラミックスコーティングの成膜が求められる方。 従来の成膜手法との違いや得られる膜の用途展開、将来展望などを把握されたい方。 | |
セミナー講師
専門:材料強度学、材料組織制御学、高温強度、表面処理・コーティング、集合組織
セミナー趣旨
本セミナーでは、AD法における装置の構成や成膜の特徴、原理について解説するとともに、本手法の応用展開について紹介します。
セミナー講演内容
1.1 背景
1.2 AD装置の構成
1.3 成膜条件が膜の形成に与える影響
1.3.1 アルミナ粒子での成膜
1.3.2 ジルコニア(YSZ)粒子での成膜
1.3.3 ムライト粒子での成膜
1.3.4 金属粒子での成膜
2.エアロゾルデポジション(AD)法による成膜の原理
2.1 近年提唱されている成膜原理
2.2 シミュレーションによる成膜の理解
2.3 成膜粒子の速度測定手法
2.4 粒子速度および粒子のエネルギーに基づいた成膜の解析
2.5 AD法による結晶配向膜の形成
3.成膜体の特性と用途展開
3.1 粒子配向チタン酸ビスマスAD膜の物性
3.2 AD法による低発塵性部材
3.3 プラスチックへのAD法の適用
3.4 ADアルミナ硬質膜のローラへの適用
3.5 AD膜の環境遮蔽膜としての可能性
□質疑応答□
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