[薄膜作製の基礎] 2026年11月18日（水）10:30～16:30 薄膜作製の基礎と薄膜評価・トラブル対策 スパッタ法、真空蒸着法、CVD法の原理やそれぞれの膜の特徴、作製した薄膜の評価方法 等など… 狙った特性を有する薄膜を得るための薄膜作製プロセス設計の基礎的かつ系統的な知識を解説 ※[薄膜作製の基礎] みのお申込みはコチラから

 

得られる知識

・現場で必要とされる薄膜技術の基礎知識を習得できる
・薄膜技術で必要とされる真空工学，表面物性工学の知識を習得できる
・薄膜の形成過程，薄膜の諸特性、薄膜とバルクとの違いについての知識が得られる
・真空蒸着法，スパッタ法，CVD法の特徴、類似点、違い、得られる薄膜の特徴が理解できる
・必要な特性を有する薄膜を得るために必要なプロセス設計を行えるようになる
・トラブル発生時、その解決に向けた指針を立てることができるようになる
 

受講対象

講　　師

講演内容

 
１．薄膜技術のための基礎知識
　1.1 真空工学
　1.2 表面物性工学
　1.3 プラズマ工学
 
２．物理気相成長（PVD）法
　2.1 真空蒸着法
　　a.原理
　　b.真空蒸着法の種類
　　c.真空蒸着法の留意事項
　2.2 スパッタ法
　　a.原理　
　　b.スパッタ法の種類
　　c.スパッタ法で作製される薄膜の特徴
　　d.スパッタ法の留意事項
 
３．化学気相成長（CVD）法
　3.1 原理
　3.2 化学気相成長法の種類
　3.3 化学気相成長法で作製される薄膜の特徴
　3.4 化学気相成長法の留意事項
 
４．薄膜評価法
　4.1 形態観察
　4.2 膜組成、膜構造分析
　4.3 付着力、膜応力測定
　4.4 電気的特性、光学的特性測定
 
５．薄膜作製プロセスで遭遇するさまざまなトラブルと解決策
　5.1 膜質に関するトラブル
　5.2 装置に関するトラブル

□ 質疑応答 □

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[薄膜の剥離対策] 2026年12月18日（金）10:00～17:00  ※ アーカイブ配信は 2027年1月13日（水）配信開始予定 薄膜の剥離メカニズムと密着性改善 ～スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに実践的に対処する際に知っておくべきこと～ ※[付着が関与する粉体操作の要点]のみのお申込みはコチラから

 

得られる知識

・薄膜の剥離・破壊、機械的特性に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
・薄膜／基板界面などの微視的構造の基礎知識
・薄膜の剥離部を観察する際の注意点
・薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順
・薄膜の様々な剥離モードに応じた、密着性を向上させる材料設計の考え方
 

受講対象

講　　師

 

講演内容

１．なぜ剥離が発生し、どのように改善するのか？
　Introduction 薄膜の剥離トラブルの解決に苦労する理由
　1.1 膜剥離を理解・対策するための３つのポイントとは？
　　　・剥離形態を観察することで何がわかるか？
　　　・剥離原因を簡単に絞り込む方法
　1.2 異種材料間の界面を観察してみよう：
　　　・剥離トラブルを避けて、密着性を向上させるためには界面のどこの何をみるべきか？
　1.3 異種材料界面がくっついている根本的な要因は何か？
　1.4 密着と粘着・接着との違い
　1.5 薄膜が剥離するとは？：
　　　・負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および歪みｴﾈﾙｷﾞｰの影響と剥離･破壊のモード
　　　　（引張/圧縮力の負荷、ヒートサイクル、高温保持によっておこる剥離･破壊形態の違い）
　1.6 薄膜の剥離･破壊に影響を与える応力を理解するポイント
　　　・膜応力に関わる現象の全体像を把握する
　　　・薄膜形成時に膜応力が生じる根本要因を理解しよう
　　　・膜厚影響の本質とは
　　　・密着性測定時に生じる応力の影響に注意しよう
　1.7 壊れやすいところが剥離するという密着性の考え方の基本と破壊の力学
　1.8 密着性向上の対策につなげる効果的な考え方と密着性改善の手法
 
２．密着力の測定からどのように剥離改善策につなげていくのか：スクラッチ試験を例に
　Introduction 剥離対策に密着力の測定はどこまであてになるのか？
　2.1 密着性の測定方法、条件の選び方：測定条件の影響と測定値の持つ意味
　2.2 スクラッチ試験で現れる剥離･破壊の見た目から密着性を読み解く：材料設計への活かし方
　　　・半定量的評価としてどこまで信用して良いか、どう評価結果を使うか？
　　　・壊れ方が示してくれる剥離･破壊の要因の解釈の仕方
　　　・スクラッチマップを活用する
　2.3 スクラッチ試験の樹脂コーティング膜の密着性評価への展開
 
３．剥離のトラブルにどのように対処するのか
　Introduction よくある剥離トラブル時の対応における失敗例
　3.1 剥離が起こった時の対処の手順と解析の方法
　3.2 ケーススタディ１：思い込みで剥離対策をしてないか？（剥離の状況を丁寧に観察しよう）
　3.3 ケーススタディ２：一般的な剥離対策の常識を信じて良いか？（対策のアプローチを再考しよう）

４．まとめ

□ 質疑応答 □