B251171: 光導波路用感光性樹脂の材料設計指針と導波路作成・微細加工技術 | 技術セミナーの開催・書籍出版　サイエンス＆テクノロジー＜Ｓ＆Ｔ＞

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セミナーセミナー番号:B251171(光導波路用樹脂)

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光導波路用感光性樹脂の材料設計指針と
導波路作成・微細加工技術

～光導波路用材料に求められる物性と課題、材料設計へのポイント～

本セミナーは都合により中止となりました(11/4更新)

受講可能な形式：【Live配信】のみ

co-package opticsなど新しい応用で再注目される光導波路、その中の感光性樹脂に焦点を当て、
低損失性・光閉じ込め性・耐熱性・黄変抑制といった材料の要求特性確保のアプローチと、
リソグラフィやRIE法による導波路作製・微細加工までを、国内企業の事例も交えながら紹介します

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日時

2025年11月21日（金） 13:00～16:00

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　開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
　Zoom上ではスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。

オンライン配信

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備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

セミナー講師

セミナー趣旨

　プリント配線板の作製プロセスが流用できるポリマー光導波路の光インターコネクト及び光回路部品への応用は、古くから検討が行われてきている。しかし、従来の電気基板、配線におけるプロセス及び材料技術の向上により、これまで本格的な光化の市場は開かれてこなかった。このような背景から、これまで多くの国内光導波路メーカーが開発検討を止めていった経緯があるものの、近年、co-package opticsにおける素子-ファイバー間の接続用途として再度需要が高まりつつある。そこで本講演では、ポリマー光導波路に要求される各種特性に対して試みられてきた材料設計、及び、その微細加工方法について、国内企業における従来材料を例に挙げつつ紹介する。

セミナー講演内容

１．光インターコネクトにおける光導波路の役割

２．光導波路用感光性樹脂の材料設計
　2.1 光導波路用材料に求められる物性と課題因子
　2.2 光学特性の付与
　　・低損失(吸収損失、散乱損失)
　　・光閉じ込め性
　2.3 耐熱特性の付与
　　・耐熱黄変
　　・黄変の抑制策
　2.4 機械特性の付与
　2.5 微細加工性の付与

３．光導波路の作製方法
　3.1 フォトリソグラフィー法
　3.2 フォトブリーチング法
　3.3 フォトアドレス法
　3.4 リアクティブイオンエッチング（RIE）法

４．国内各社における光導波路材料の設計例

　　□質疑応答□

セミナーセミナー番号:B251171(光導波路用樹脂)

光導波路用感光性樹脂の材料設計指針と導波路作成・微細加工技術

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セミナー趣旨

セミナー講演内容

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