液膜の塗布・乾燥プロセスの物理現象と
膜厚ムラの形成メカニズム、回避・抑制指針
~膜厚ムラに対処するための、理論・現象の理解と数値シミュレーション~
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やっかいな「膜厚ムラ」の回避・抑制に向けて。
液膜の流れや溶媒の蒸発特性等の塗布・乾燥の物理現象、各種膜厚ムラの形成過程や起きている現象、対策方針、分析方法などを解説します。
膜厚ムラにお悩みの方や、塗布・乾燥の物理現象をより深く理解されたい方など、ぜひこの機会をお役立てください。
日時 | 【Live配信】 2024年5月28日(火) 13:30~17:00 |
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会場 | 【Live配信】 オンライン配信セミナー |
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配布資料 | PDFテキスト(印刷可・編集不可) ※開催2日前を目安に、弊社HPのマイページよりダウンロード可となります。 なお、アーカイブ配信受講の場合は、配信日になります。 | |
オンライン配信 | ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください) アーカイブ配信 ►受講方法・視聴環境確認(申込み前に必ずご確認ください) | |
備考 | ※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。 | |
得られる知識 | ・液膜流れに関わる物理現象の特徴 ・液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラ ・実験・シミュレーション方法 | |
対象 | ・メカニズムの理解に基づいて、応用範囲の広い対策方法を検討したい方 ・予備知識: 特に必要ないように構成します。 |
セミナー講師
セミナー趣旨
このセミナーでは、主要な塗布方法であるスピンコート法と加熱乾燥を対象に、代表的な膜厚ムラとして 1)基板端部に生じる隆起、2)基板全面に渡って生じる放射状スジムラに注目して、その形成メカニズムと回避・抑制指針について実験的な観察と理論・数値シミュレーションの両面から解説する。
セミナー講演内容
1.1 関連する産業分野と塗布方式
1.2 関与する物理現象、種々の膜厚ムラ
2.液膜内の熱流動に関する物理
2.1 液膜流れ
2.1.1 表面張力と重力の影響
2.1.2 遠心力の影響
2.1.3 マランゴニ効果
2.1.4 液膜に生じた膜厚不均一の緩和挙動
2.2 熱物質輸送
2.2.1 加熱乾燥と熱伝導
2.2.2 樹脂と溶媒の相互拡散
2.2.3 溶媒の蒸発特性
3.各種膜厚ムラの形成過程と回避・抑制指針
3.1 基板端部の隆起
3.1.1 発生するムラの特徴:実験的な観察結果から
3.1.2 何が起きているのか:背景物理の理解と数値シミュレーション
3.1.3 対策方針
3.2 放射状スジムラ
3.2.1 発生するムラの特徴:実験的な観察結果から
3.2.2 何が起きているのか:背景物理の理解と数値シミュレーション
3.2.3 対策方針
4.膜厚ムラの分析方法
4.1 膜厚ムラの観察方法
4.1.1 干渉光学系による膜厚の測定
4.2 数値シミュレーション方法
4.2.1 塗布・乾燥プロセスに関与する物性値の種類
4.2.2 液膜流れの性質を生かした、効率的な計算方法
4.2.3 機械学習を用いた液膜流れの計算方法
□質疑応答□
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