A260127:ALE(アトミックレイヤーエッチング)技術の基本原理と開発事例および最新動向 | 技術セミナーの開催・書籍出版　サイエンス＆テクノロジー＜Ｓ＆Ｔ＞

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セミナーセミナー番号:A260127(ALE)

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ALE(アトミックレイヤーエッチング)技術の
基本原理と開発事例および最新動向

エッチング技術の最先端課題からALEの基礎・開発事例・最新開発動向まで

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

半導体技術の進展に伴い、これまで以上に原子層レベルでの制御が求められるエッチング技術、
その最先端における課題と、中でも注目されているALEについて解説。
原理や代表的プロセス等の基礎から、各種材料に対するALEの開発事例、最新の開発事例・トピックスまで体系的に解説。

日時

2026年1月27日（火） 13:00～16:30

受講料(税込)

各種割引特典

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定価：本体45,000円＋税4,500円

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3名以上のお申込みで1名あたり：受講料 22,000円
　本体20,000円＋税2,000円(1名あたり)
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1名で受講の場合：37,840円(税込)　※テレワーク応援キャンペーン/E-mail案内登録の場合
2名で受講の場合：49,500円(税込)　※2名同時申込みで1名分無料：1名あたり24,750円(税込)
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配布資料

製本テキスト(開催日の4、5日前に発送予定)
　※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、
　開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
　Zoom上ではスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。

オンライン配信

ZoomによるLive配信　►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください）

セミナー視聴・資料ダウンロードはマイページから
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開催日の【２日前】より視聴用リンクと配布用資料のダウンロードリンクが表示されます。

アーカイブ(見逃し)配信について
視聴期間：1月28日(水)PM～2月3日(火)
※アーカイブは原則として編集は行いません
※視聴準備が整い次第、担当から視聴開始のメールご連絡をいたします。
(開催終了後にマイページでご案内するZoomの録画視聴用リンクからご視聴いただきます）

備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

セミナーリクエスト

得られる知識
・半導体デバイス製造の開発動向と先端課題
・ドライ／ウェットエッチングの基礎と各種材料のエッチング
・ALE（アトミックレイヤーエッチング）の原理
・ALEの各種手法、および様々な材料のALE研究開発事例

受講対象
・半導体デバイス／製造の若手技術者

セミナー講師

(株)日立ハイテク　プロセス東京技術センタ　主任技師　博士（工学）篠田和典　氏
【専門】半導体製造プロセス

セミナー趣旨

　半導体加工の微細化は原子層レベルに達し、3次元構造化や積層化による集積度の向上が急速に進展しています。さらに、ポストスケーリング時代に向けて、新構造トランジスタや新材料の導入が検討されており、これに伴い、さまざまな膜材料を原子層レベルの寸法精度で制御するエッチング技術の重要性がますます高まっています。
　本講座では、まずロジックおよびメモリ半導体の開発動向と、それに伴うエッチング技術の最先端課題について概説します。続いて、ALE(アトミックレイヤーエッチング）の原理を、ドライエッチングおよびウェットエッチングの基礎から丁寧に解説します。さらに、代表的なALEプロセス、各種材料に対するALEの開発事例、そして最新の研究・開発動向についても紹介します。

セミナー講演内容

1．半導体デバイスの開発動向および製造プロセス
　1.1 ロジック、メモリーデバイスの開発動向
　1.2 デバイス構造と製造プロセス

2．半導体製造プロセスにおけるエッチング
　2.1 エッチングの概要および装置
　2.2 エッチング技術開発の歴史

3．ALE(アトミックレイヤーエッチング)の基礎
　3.1 ALEの概要と特徴
　3.2 ALEの歴史と分類

4．熱ALE
　4.1 熱ALEの原理
　4.2 熱ALEの開発事例（La₂O₃、Co）

5．熱サイクルALE
　5.1 熱サイクルALEの原理
　5.2 熱サイクルALEの開発事例（Si₃N₄、SiO₂、TiN、W）

6．ウェットALE
　6.1 ウェットエッチングの基礎
　6.2 ウェットALEの原理と報告例

7．ハロゲンとArイオンによるALE
　7.1 反応性イオンエッチングの基礎
　7.2 ハロゲンとArイオンによるALEの原理
　7.3 ハロゲンとArイオンによるALEの開発事例(Si)

8．フルオロカーボンアシストALE
　8.1 フルオロカーボン系プラズマを用いたドライエッチングの基礎
　8.2 フルオロカーボンアシストALEの原理
　8.3 フルオロカーボンアシストALEの開発事例(Si₃N₄)

9．ALEの開発動向と最新トピックス

10．まとめと今後の課題

　　□質疑応答□

セミナーリクエスト

セミナーセミナー番号:A260127(ALE)

ALE(アトミック レイヤー エッチング)技術の基本原理と開発事例および最新動向

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