O250501:リソグラフィ技術の基礎および EUVリソグラフィ・レジスト周辺技術と展望 | 技術セミナーの開催・書籍出版　サイエンス＆テクノロジー＜Ｓ＆Ｔ＞

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リソグラフィ技術の基礎および
EUVリソグラフィ・レジスト周辺技術と展望

～半導体プロセス技術、半導体デバイス技術、リソグラフィ技術～

■微細加工技術■　■EUVリソグラフィ技術の基礎、応用事例■
■フォトリソグラフィ技術の課題と展望■

【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク

★ 微細加工技術の基礎、フォトリソグラフィ技術の原理や特長、最新のEUVリソグラフィ技術を詳しく解説！
★ EUVリソグラフィの装置やレジスト、フォトマスクなどの要素技術から応用事例までを網羅します。
★ フォトリソグラフィ技術の課題と今後の展望とは！？

日時

2025年6月27日（金） 23:59まで申込み受付中／【映像時間】2時間59分

収録日時

2025年1月31日

受講料(税込)

各種割引特典

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1名申込みの場合：受講料39,600円( E-Mail案内登録価格 37,840円)　
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3名以上のお申込みで1名あたり：受講料 22,000円
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2名で受講の場合：49,500円(税込)　※2名同時申込みで1名分無料：1名あたり24,750円(税込)
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配布資料

PDFテキスト(印刷可)：マイページよりダウンロード
講師メールアドレスの掲載：有

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備考

※セミナーの録音・撮影、複製は固くお断りいたします。
※講師の所属などは、収録当時のものをご案内しております。

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セミナー講師

東京大学大学院新領域創成科学研究科特任助教　藤原弘和　氏
＜経歴＞
1991年、岡山県生まれ。2019年に岡山大学にて博士号（理学）を取得。
同年、東芝メモリ株式会社（現キオクシア株式会社）入社。
同社メモリ技術研究所デバイス技術研究開発センター配属。
2021年より東京大学物性研究所附属極限コヒーレント光科学研究センター特任研究員
を経て、2024年より同大学大学院新領域創成科学研究科特任助教に着任。
光電子分光・顕微鏡を活用した半導体デバイスおよび材料開発を専門とし、
産学連携による先端分析技術の社会実装にも取り組む。
＜WebSite＞
https://researchmap.jp/fujiwara_h

セミナー趣旨

　フォトリソグラフィ技術の進化は、半導体集積回路の集積度向上を支えてきました。最先端の極端紫外線（EUV）リソグラフィによって20 nm以下の線幅まで解像可能となり、微細化による半導体製品の高性能化のトレンドは継続するとみられます。しかし、EUVリソグラフィには特有の課題があり、レジスト材料等の最適化が進められています。
　本講演では、微細加工技術の基礎から始まり、フォトリソグラフィ技術の原理や特長、さらに最新のEUVリソグラフィ技術について、光と物質の相互作用に基づいて詳しく解説します。
EUVリソグラフィの装置やレジスト、フォトマスクなどの要素技術から応用事例までを網羅し、最後にフォトリソグラフィ技術の課題と今後の展望について紹介します。これにより、微細加工分野における最先端技術の理解を深めていただくことを目的としています。

セミナー講演内容

＜得られる知識・技術＞
　・リソグラフィの物理・評価技術
　・半導体プロセス技術
　・半導体デバイス技術

＜プログラム＞
１．微細加工技術
　1.1 微細加工の基礎
　1.2 微細加工パターンの評価手法
　　1.2.1 光学顕微鏡
　　1.2.2 電子顕微鏡
　　1.2.3 プローブ顕微鏡

２．フォトリソグラフィの基礎
　2.1 フォトリソグラフィ技術の原理
　2.2 フォトリソグラフィの特長
　2.3 フォトリソグラフィの歴史
　2.4 フォトリソグラフィ技術の材料

３．EUVリソグラフィ技術の基礎
　3.1 EUVリソグラフィ装置
　3.2 EUV露光の物理
　3.3 EUVレジスト
　　3.3.1 化学増幅型レジスト
　　3.3.2 非化学増幅型レジスト
　　3.3.3 メタルレジスト
　　3.3.4 その他のレジスト
　3.4 レジスト周辺材料
　3.5 EUVフォトマスク
　　3.5.1 EUVマスクブランクス
　　3.5.2 EUVペリクル

４．EUVリソグラフィ技術の応用事例
　4.1 SiC-MOSFETモジュールに求められるもの
　4.2 銀または銅焼結接合技術
　4.3 SiC-MOSFETモジュール技術

５．フォトリソグラフィ技術の課題と展望

■Ｑ＆Ａ■
　このセミナーに関する質問に限り、講師とメールにて個別Q&Aをすることができます。
　具体的には、セミナー資料に講師のメールアドレスを掲載していますので、セミナーに関する質問がございましたら
　直接メールでご質問ください。
　（ご質問の内容や時期によっては、ご回答できない場合がございますのでご了承下さい。）

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セミナーセミナー番号:O250501(【オンデマンド】リソグラフィ技術)

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