合同会社アミコ・コンサルティング CEO　友安 昌幸　氏
＜経歴・専門・活動など＞
東京エレクトロン（半導体製造装置メーカー）およびSamsung Electronics（半導体メーカー）の両側の立場から、38年間にわたって装置開発／開発支援に携わってきました。G. Nadler教授が提唱するブレークスルー思考に傾倒し、装置開発だけでなく、あらゆる問題に解決に対して実践してきました。本質の追求、多方向の視点、上位の目的からの最適解を構築することを得意とします。半導体業界での発展の転機に数回にわたって寄与しました。Sematech, SRC, imec, SEMIといったコンソーシア、大学等との協業、M&A DDの経験があります。
SEMI STS, ALE Symposium等での講演経験があります。
現在は、コンサルタント業務を通して、新規事業、新製品開発に取り組む企業を技術、マネジメント側面で支援しています。また、ITコーディネータ資格を保有し、DX推進支援も行っています。
AI, IT系の資格を取得し、ビジネス経験、データ分析経験に根差した、当事者視点での支援を心がけています。
ホームページにて、毎日半導体ニュースまとめを発信しています。また、最新AIの製造業への活用についても発信しています。
＜WebSite＞
https://amiko.consulting/

　本講座では、現代の半導体製造に不可欠なドライエッチング技術について、その基礎原理から最新の技術動向、そして微細加工への応用までを包括的に解説します。
　半導体製造プロセス全体の理解を深めたい方、ハードウェア設計者としてプロセス技術への知見を広げたい方、または特定のプロセス技術に興味をお持ちの方々を対象に、ドライエッチングがどのように半導体デバイスの高性能化・高密度化に貢献しているのかをわかりやすくお伝えします。
　本講座を通じて、受講者の皆様が半導体産業の未来を担う技術の一端を深く理解し、自身の専門分野における新たな視点や発想を得ることを目指します。

＜得られる技術・知識＞
・半導体製造プロセス全体の中でのドライエッチングの位置づけと重要性を理解できます。
・ドライエッチングの基本的な原理とメカニズムを習得できます。
・様々なドライエッチング装置の構成と要素技術について学ぶことができます。
・最新の半導体デバイスにおけるドライエッチングの応用例とその進化の方向性を把握できます。
・ドライエッチング技術が抱える課題と今後の研究開発の方向性について理解を深められます。
・ドライエッチングが半導体産業だけでなく、様々な分野にもたらす可能性について視野を広げられます。

＜プログラム＞
第１部：ドライエッチングの基礎
　1.1 半導体製造プロセスにおけるエッチングの役割
　　　(1) 半導体産業とは
　　　(2) 半導体デバイスができるまで：主要プロセスの概観
　　　(3) エッチングとは何か？ウェットエッチングとの比較
　　　(4) なぜドライエッチングが必要とされるのか？微細化への要求
　1.2 ドライエッチングの基本原理
　　　(1) プラズマとは何か？プラズマの生成と利用
　　　(2) プラズマの種類と特徴（CCP、ICPなど）
　　　(3) エッチングメカニズム：物理的エッチング、化学的エッチング、およびその複合
　1.3 ドライエッチング装置の構成と要素技術
　　　(1) 主要な装置構成要素
　　　　　・真空システム
　　　　　・ガス供給系
　　　　　・電源
　　　　　・静電チャック
　　　　　・チラー
　　　　　・終点検出
　　　(2) プラズマ制御技術の基礎
　　　(3) プロセスガスと反応生成物

第２部：ドライエッチングの最新技術動向と応用
　2.1 先端デバイスにおけるドライエッチングの進化
　　　(1) 3D NAND、FinFET/GAAなどの次世代デバイス構造とドライエッチング
　　　(2) 高アスペクト比エッチング技術の課題と解決策
　　　(3) 選択比、異方性制御、ダメージ低減技術の最前線
　　　(4) ALE
　　　(5) 低温エッチングプロセス
　2.2 ドライエッチングの課題と今後の展望
　　　(1) 極微細化における新たな課題
　　　　　（EUVリソグラフィとの連携、自己組織化プロセスなど）
　　　(2) AI/機械学習を活用したプロセス最適化・制御
　　　(3) 環境負荷低減への取り組み
　2.3 ドライエッチングが拓く未来
　　　(1) パワーデバイス、MEMS、量子コンピュータなど、半導体以外の分野への応用
　　　(2) 異分野融合による新技術創出の可能性

　　□質疑応答□​