エステックＣ(同)　代表　鈴木 克己　氏
【講師紹介】

　本セミナーでは洗浄の基礎、各種洗浄方法の概要、洗浄不良への対応、理論を用いた高品質洗浄への応用について幅広く説明いたします。洗浄全体を理解いただくとともに、なぜそうなるのかという洗浄のメカニズムを理解いただければと思っております。
　まず洗浄の基礎では、それぞれの洗浄方法の持つ特徴をベースに、装置や設備を考慮しながらトータルで洗浄の基本構成を決める方法を紹介していきます。次に各種洗浄の概要では、湿式洗浄、乾式洗浄等について洗浄メカニズムに触れながら説明いたします。洗浄不良への対応では、個別の対策例や陥りがちな良くない行動例を含めながら、対応方法の基本を説明します。洗浄不良は前工程の影響である場合や後工程でわかる場合もあるので注意が必要です。高品質洗浄への応用では、湿式洗浄メカニズムの実洗浄への応用を目的とし、洗浄理論で使用する各種データーの取得方法や、洗浄および洗浄液選定シミュレーションを実演します。現在の貴社工程の良否判断にも使えると考えます。

1．洗浄の基礎
　1.1 汚れの種類と洗浄工程
　1.2 水系洗浄の知っておくべきこと
　1.3 市販洗浄液の例

2．湿式洗浄の除去メカニズム
　2.1 ５つの基本工程と３つの分離メカニズム
　　2.1.1 濡れ
　　2.1.2 分離
　　　・剥離、エッチング
　　　・溶解
　　　・分解
　　2.1.3 再付着防止・分散
　　2.1.4 排出（リンス）
　　2.1.5 乾燥
　2.2 水系洗浄
　　2.2.1 洗浄剤について
　　　・界面活性剤と酸、アルカリの働き
　　　・DLVO理論による汚れ再付着防止
　　　・電位 - pH図 応用によるエッチング剥離
　　2.2.2 排出（リンス）
　　　・PIV応用による排出効率向上
　　2.2.3 乾燥、除電
　2.3 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
　　2.3.1 洗浄剤について
　　　・ハンセン溶解度パラメーター応用による洗浄溶剤選定
　　2.3.2 排出（リンス）
　　2.3.3 乾燥、除電
　2.4 市販洗浄液選定方法の例

3．湿式洗浄装置、治具
　3.1 超音波（メガソニック）
　　3.1.1超音波洗浄メカニズム
　　3.1.2 異物大きさと周波数の目安
　　3.1.3 超音波洗浄の改善
　3.2 その他の機械力印加洗浄
　　3.2.1 スクラブ洗浄
　　3.2.2 ジェットスプレー洗浄
　　3.2.3 二流体シャワー洗浄
　3.3 治具　　　　
　　3.3.1 治具の種類
　　3.3.2 使用時の注意点

4．乾式洗浄の除去メカニズム
　4.1 プラズマ洗浄
　4.2 UV洗浄、オゾン洗浄
　4.3 レーザー洗浄
　4.4 アイス洗浄、ドライアイス洗浄、エアロゾル洗浄
　4.5 コロナ、光による除電

5．（乾式+湿式）洗浄の除去メカニズム
　5.1 アッシング → 熱硫酸洗浄
　5.2 UV → オゾン水洗浄
　5.3 オゾンガス → 水洗浄

6．洗浄不良と対策
　6.1 洗浄液選定起因の不良
　6.2 アルカリ洗浄液管理起因の不良
　6.3 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
　6.4 純水バクテリア起因の不良
　6.5 超音波ダメージ起因の不良
　6.6 温水引上げ乾燥時の汚染起因の不良
　6.7 その他の不良原因と対策方法
　6.8 現場での不良原因確認と対応方法
　　6.8.1 陥りがちな悪い対応例
　　6.8.2 良い対応例

7．高品質洗浄への取り組み
　7.1 ５つの基本工程の評価と改善（濡れ、分離、再付着防止、排出、乾燥）
　　実演：エクセルによる再付着防止シミュレーション（ソフトは事前配布します）
　　　　　ハンセン溶解度パラメーターによる洗浄液の選定
　7.2 超音波洗浄の改善
　7.3 特殊形状の製品の洗浄
　7.4 洗浄コスト削減のために

　　□質疑応答□