セミナー
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May 8, 2017
精密機械の防振設計・振動対策
《 基礎と実践 》
装置の具体的設計手法、設置床仕様/建屋振動特性、地震対策まで徹底解説！
受講可能な形式：【会場受講】のみ
| 日時 | 2025年10月28日（火） 13:00～17:00 |
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| 会場 | 日本アイアール(株) 本社会議室 ＜定員：16名＞ |
会場地図 |
| 講師 | シンクトリア・コンサルティング チーフコンサルタント 博士（工学） 技術士（機械部門） 高橋 正人 氏 ［専門：微振動制御］ ・1990年4月 ～ ： 大手精密機器メーカー ・2019年4月 ～ ： 千葉工業大学工学部 非常勤講師 ・2020年4月 ～ ： 明治大学理工学部 非常勤講師 ・2025年4月 ～ ： シンクトリア・コンサルティング チーフコンサルタント 専門は精密機械設計および微振動制御。 長年、半導体製造装置の開発設計に従事し、量産機として世界一精密な半導体露光装置のステージおよび除振台の開発設計を担当。 装置の振動仕様の決定、半導体工場の補強工事の仕様決めや工事の支援なども実施。 2025年4月よりシンクトリア・コンサルティングにて、精密機械設計、構造物の振動対策等の技術支援を手掛けているほか、技術セミナーや技術者倫理教育などの講師としても活動している。 |
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受講料(税込)
各種割引特典
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39,600円
( E-Mail案内登録価格 39,600円 )
S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について
定価：本体36,000円＋税3,600円
E-Mail案内登録価格：本体36,000円＋税3,600円
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| ※S&T E-Mail案内登録価格,S&T複数同時申込み割引対象外 申し込み受領後、主催会社日本アイアール(株)よりセミナー実施５営業日前を目安に受講票をお届け致します。 受講票の発送をもちまして以後のキャンセルはお受けできません。 受講予定の方がご出席できなくなった場合に、他の方が代わりにご受講されることは可能です。 受講票発送以後、ご出席できなくなった場合は、当日の講義資料を郵送させていただきます。 ※お支払い 請求書に同封されている振込先一覧に記載の日本アイアール(株)指定口座に、 請求日の1ヶ月以内にお振込みをお願い申し上げます。1ヶ月以内のご入金が難しい場合はお申し付けください。 セミナー会場での現金払いをご希望の場合は、その場で領収書を発行させていただきます。 ご希望の場合は予めご連絡ください。 請求書は、主催会社から開催確定後に順次発送いたします。 ※サイエンス＆テクノロジーが設定しているアカデミー価格・キャンセル規定対象外のセミナーです。 |
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| 主催 | 日本アイアール(株) | |
| 備考 | ※開催１週間前までに最少開催人数に達しない場合は、実施をキャンセルさせていただくことがあります。 ※開催の場合は、開催１週間前程度から受講票と請求書を発送させていただきます。 | |
| 得られる知識 | ・精密機械の設計手順 ・振動評価技術の把握 ・建屋の振動仕様の理解 ・高精度装置の地震対策の理解 | |
| 対象 | ・精密機械を扱う若手～中堅社員 | |
セミナー趣旨
近年、精密機械・精密機器を扱う製造業では、振動対策の重要性がますます高まっています。ナノメートル単位の精度が求められる半導体関連機器などの設計では、誤差論の理解を基に、機械や電気など幅広い知識を統合した設計アプローチが必要となります。
６自由度計測器や半導体関連機器のような高精度機器においては、外部からの振動が計測精度や動作精度に重大な影響を及ぼすため、防振設計の最適化が極めて重要です。防振設計の成功事例を分析することで、誤差低減技術の理解が深まり、分野横断的な知識を活用した設計能力の向上が期待されます。
さらに精密機器を設置する建屋自体の振動特性や耐震性能も、高精度環境を維持する上で不可欠な要素です。
本セミナーでは、精密機械の防振設計に焦点を当て、誤差を最小限に抑えるための具体的な設計手法を探求することで、高精度機器開発への貢献を目指します。
精密機械に関する基礎知識を身につけるとともに、装置設置床や建屋振動が装置性能に与える影響を適切に評価・管理するスキルの習得を図ります。また、通常の地震動だけでなく、周期地震動に関しても分析と対策を行い、新技術の導入や継続的な改善に向けた議論も行います。
このセミナーを受講することで、防振設計に関する基礎理論にとどまらず、現場で直面する課題に対して実践的に対応できる知識と技術を習得できます。ぜひご参加ください。
６自由度計測器や半導体関連機器のような高精度機器においては、外部からの振動が計測精度や動作精度に重大な影響を及ぼすため、防振設計の最適化が極めて重要です。防振設計の成功事例を分析することで、誤差低減技術の理解が深まり、分野横断的な知識を活用した設計能力の向上が期待されます。
さらに精密機器を設置する建屋自体の振動特性や耐震性能も、高精度環境を維持する上で不可欠な要素です。
本セミナーでは、精密機械の防振設計に焦点を当て、誤差を最小限に抑えるための具体的な設計手法を探求することで、高精度機器開発への貢献を目指します。
精密機械に関する基礎知識を身につけるとともに、装置設置床や建屋振動が装置性能に与える影響を適切に評価・管理するスキルの習得を図ります。また、通常の地震動だけでなく、周期地震動に関しても分析と対策を行い、新技術の導入や継続的な改善に向けた議論も行います。
このセミナーを受講することで、防振設計に関する基礎理論にとどまらず、現場で直面する課題に対して実践的に対応できる知識と技術を習得できます。ぜひご参加ください。
セミナー講演内容
１．はじめに
本セミナーの目的と達成レベル
２．高精度精密機械の基礎知識
2-1 精度編
誤差論、系統誤差と偶然誤差
2-2 振動系
１自由度系、２自由度＆多自由度系、動吸振器、質量系、ばね系、減衰系
連成振動と非連成振動
2-3 電気・制御系
タイマー割り込み処理、ディジタルフィルター設計、PID制御等
2-4 振動遮断の原理
2-5 評価規範
RMS、1/3OCT分析、PSD
VCカーブ/NIST-A
諸外国の振動仕様
３．実践・高精度精密機械の防振設計
3-1 ６自由度運動のダイナミクス
・システムの運動方程式
3-2 センサ類
加速度センサ、速度センサ、変位センサ（渦、静電容量）、圧力センサ
3-3 アクチュエータ類
電磁アクチュエータ（VCM）、空気圧アクチュエータ（空気ばね）
3-4 支持方法
弾性支持・防振支持、空気ばね支持
3-5 防振特性
スカイフック制御
加速度FB、速度FB、相対位置FB、加速度FF、ハイブリッド制御
3-6 防振要素技術
①二重防振方式、②補助タンク方式、③擬似補助タンク（圧力微分FB）
④エア制御＆ＶＣＭのハイブリッド制御
⑤アクチュエータ多点配置制御、⑥アクティブ・ダンピング技術
（閑話休題：加速度センサの扱い）
４．建屋振動計測とデータ分析
4-1 一般の振動測定
・相反性
・入力（ハンマー、シェーカ）、各種ウィンドウ、コヒーレンス
4-2 実稼働解析
・建屋振動モードの特定（絶対に見逃してはいけない！）
4-3 現場の実践対応
・振動測定の玄人テクニック
・電気ノイズ処理
・超低周波の測定テクニック
4-4 建屋振動特性と補強
・建屋動剛性の推定
・地盤振動の特徴
・構造解析の限界
・補強の留意点
５．建屋振動仕様
5-1 設置床の振動特性
5-2 高精度精密機械の振動仕様
６．地震対応
6-1 通常地震
6-2 長周期地震動
７．今後のイノベーション
7-1 建屋振動と高精度精密機械の制御の有無
7-2 地震動感知器と高精度装置のBCM
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