書籍

薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

~応力、硬さ、密着力とケーススタディ19~

絶版となりました
発刊日 2008年7月10日
体裁B5判上製本  328頁
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ISBNコード978-4-903413-42-6
Cコード3058
薄膜内部応力・硬さ・密着力のメカニズム・測定・評価、付着力・剥離などトラブルへの対策に!
ケーススタディとして19節に学ぶ、不良対策・成膜条件最適化と高品質な膜を作るには!