セミナー
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高感度化フォトレジスト材料の
合成・設計・開発技術
~分子設計・合成方法と最新型EUV用レジスト材料の研究動向~
受講可能な形式:【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ
【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク
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EUV用レジスト材料など更なる高感度化が求められる新規レジスト材料の開発
メタルレジスト、化学増幅型レジスト、非化学増幅型レジスト材料、、、、
EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料の合成・設計・開発
高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説
日時 | 【ライブ配信】 2024年12月17日(火) 10:30~16:30 |
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【アーカイブ配信】 2025年1月7日(火) まで受付(視聴期間:1/7~1/21) |
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受講料(税込)
各種割引特典
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55,000円
( E-Mail案内登録価格 52,250円 )
S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について
定価:本体50,000円+税5,000円
E-Mail案内登録価格:本体47,500円+税4,750円
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E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
1名分無料適用条件
2名で55,000円 (2名ともE-Mail案内登録必須/1名あたり定価半額の27,500円)
1名申込みの場合:受講料 41,800円(E-Mail案内登録価格 39,820円 ) 定価:本体38,000円+税3,800円 E-Mail案内登録価格:本体36,200円+税3,620円 ※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。 ※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。 ※他の割引は併用できません。
3名以上のお申込みで1名あたり:受講料 24,200円 本体22,000円+税2,200円(1名あたり) ※受講者全員のE-Mail案内登録が必須です。 ※お申込みフォームで【半導体産業応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。 ※本ページからのお申込みに限り適用いたします。他の割引は併用できません。
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配布資料 | 製本資料(開催日の4、5日前に発送予定)) ※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、 開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。 | |||
オンライン配信 | ライブ配信(Zoom) ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください) アーカイブ配信 ►受講方法・視聴環境確認(申込み前に必ずご確認ください) | |||
備考 | ※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。 | |||
得られる知識 | レジスト材料の合成方法、評価方法、開発方法 | |||
対象 | レジスト材料の開発に関する研究にご興味がある方 | |||
キーワード:レジスト材料、化学増幅型レジスト、非化学増幅型レジスト、EUV用レジスト材料、高感度化レジスト材料 |
セミナー講師
関西大学 化学生命工学部 化学・物質工学科 教授 博士(工学) 工藤 宏人 氏
【講師紹介】
【講師紹介】
セミナー趣旨
フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、露光システムに対応したレジスト材料が開発されてきた。現在、極端紫外線(EUV)露光システムが実用段階として運用されようとしている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料が開発されていない。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
セミナー講演内容
1.レジスト材料
1.1 原理
1.2 合成例
1.3 最新の化学増幅型
2.ポジ型レジスト材料
2.1 材料的な特性
2.2 主な応用・用途
3.ネガ型レジスト材料
3.1 材料的な特性
3.2 主な応用・用途
4.高分子レジスト材料と低分子レジスト
4.1 材料的な特性
4.2 主な応用・用途
5.EUV用レジスト材料の評価方法と開発方法の実例
5.1 レジスト材料の評価項目,評価手法について
5.2 レジスト材料の評価方法と開発例
6.最新型EUV用レジスト材料
6.1 メタルレジスト
6.2 化学増幅型レジストと非化学増幅型レジスト材料
7. 質疑応答
1.1 原理
1.2 合成例
1.3 最新の化学増幅型
2.ポジ型レジスト材料
2.1 材料的な特性
2.2 主な応用・用途
3.ネガ型レジスト材料
3.1 材料的な特性
3.2 主な応用・用途
4.高分子レジスト材料と低分子レジスト
4.1 材料的な特性
4.2 主な応用・用途
5.EUV用レジスト材料の評価方法と開発方法の実例
5.1 レジスト材料の評価項目,評価手法について
5.2 レジスト材料の評価方法と開発例
6.最新型EUV用レジスト材料
6.1 メタルレジスト
6.2 化学増幅型レジストと非化学増幅型レジスト材料
7. 質疑応答