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圧電薄膜の成膜、評価技術とMEMS応用

~各種薄膜材料と成膜技術、評価技術、最新動向~

受講可能な形式:【Live配信】のみ

近年、MEMSデバイスの進化は進み、様々な電子製品において必要不可欠なものです。
その中でも圧電材料は活用がされており、更なる高性能化を求め、研究開発が進められております。

本セミナーでは、各種圧電薄膜材料や成膜技術といった基礎知識から薄膜の評価手法、最新研究動向を解説!
日時 2023年2月17日(金)  13:00~16:30
会場 Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)  
会場地図
受講料(税込)
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配布資料配布資料:製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
     ※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
     ※開催日の4~5日前に発送します。
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     ※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、
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備考※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
得られる知識・圧電薄膜の材料評価、成膜および測定技術
対象圧電薄膜の研究開発にこれから従事する技術者を対象
予備知識は特に不要です

セミナー講師

セミナー趣旨

 PZT薄膜を中心とした圧電薄膜のMEMSデバイス応用の研究開発が活発化している。
圧電MEMSの特徴的な基本技術は、圧電薄膜材料、薄膜化、および圧電評価技術である。本講演では、これらの技術について解説するとともに、将来のデバイス開発を目的とした研究例を紹介する。

セミナー講演内容

1.圧電MEMSの特徴および応用例
 1.1 MEMS技術の中における圧電MEMS
 1.2 圧電MEMSデバイスの応用例

2.圧電薄膜材料とその成膜技術
 2.1 圧電材料
 2.2 PZT材料
 2.3 非鉛圧電材料
 2.4 薄膜化技術
 2.5 スパッタ法
 2.6 ゾルゲル法

3.圧電薄膜の評価技術
 3.1 結晶構造評価
 3.2 誘電特性・強誘電特性
 3.3 信頼性評価
 3.4 圧電定数の定義
 3.5 圧電特性測定技術
 3.6 ユニモルフ構造の力学
 3.7 逆圧電定数および正圧電定数の測定

4.最近の研究動向

5.まとめ


  □ 質疑応答 □