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セミナーセミナー番号:B230277(圧電MEMS)

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【 2 名同時申込で 1 名無料】対象セミナー【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】

圧電薄膜の成膜、評価技術とMEMS応用

～各種薄膜材料と成膜技術、評価技術、最新動向～

受講可能な形式：【Live配信】のみ

近年、MEMSデバイスの進化は進み、様々な電子製品において必要不可欠なものです。
その中でも圧電材料は活用がされており、更なる高性能化を求め、研究開発が進められております。

本セミナーでは、各種圧電薄膜材料や成膜技術といった基礎知識から薄膜の評価手法、最新研究動向を解説！

このセミナーの受付は終了致しました。

日時	2023年2月17日（金） 13:00～16:30
会場	Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)	会場地図
受講料(税込) 各種割引特典	44,000円 ( E-Mail案内登録価格 41,800円 ) S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について定価：本体40,000円＋税4,000円 E-Mail案内登録価格：本体38,000円＋税3,800円
受講料(税込) 各種割引特典	E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料 1名分無料適用条件 1名分無料適用条件 ※2名様ともS&T会員登録が必須です。　2名様以降の受講者は、申込み前にS&T会員登録をお済ませください。 ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。 ※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。 ※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。 ※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。) ※他の割引は併用できません。 2名で44,000円 (2名ともE-Mail案内登録必須／１名あたり定価半額の22,000円) 【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】　1名申込みの場合：受講料( 定価：35,200円／E-Mail案内登録価格 33,440円 ) 　　　定価：本体32,000円＋税3,200円　　　E-Mail案内登録価格：本体30,400円＋税3,040円　※１名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。　※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。　※他の割引は併用できません。
配布資料	配布資料：製本テキスト(開催前日着までを目安に発送) 　　　　　※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。　　　　　※開催日の４～５日前に発送します。　　　　　　開催前日の営業日の夕方までに届かない場合はお知らせください。　　　　　※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、　　　　　　開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
オンライン配信	ZoomによるLive配信　►受講方法・接続確認
備考	※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。 ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
得られる知識	・圧電薄膜の材料評価、成膜および測定技術
対象	圧電薄膜の研究開発にこれから従事する技術者を対象予備知識は特に不要です

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セミナー講師

神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻センシングデバイス工学分野教授　神野伊策　氏
【専門】薄膜、圧電、MEMS
【研究室HP】

セミナー趣旨

　PZT薄膜を中心とした圧電薄膜のMEMSデバイス応用の研究開発が活発化している。
圧電MEMSの特徴的な基本技術は、圧電薄膜材料、薄膜化、および圧電評価技術である。本講演では、これらの技術について解説するとともに、将来のデバイス開発を目的とした研究例を紹介する。

セミナー講演内容

１．圧電MEMSの特徴および応用例
　1.1　MEMS技術の中における圧電MEMS
　1.2　圧電MEMSデバイスの応用例

２．圧電薄膜材料とその成膜技術
　2.1　圧電材料
　2.2　PZT材料
　2.3　非鉛圧電材料
　2.4　薄膜化技術
　2.5　スパッタ法
　2.6　ゾルゲル法

３．圧電薄膜の評価技術
　3.1　結晶構造評価
　3.2　誘電特性・強誘電特性
　3.3　信頼性評価
　3.4　圧電定数の定義
　3.5　圧電特性測定技術
　3.6　ユニモルフ構造の力学
　3.7　逆圧電定数および正圧電定数の測定

４．最近の研究動向

５．まとめ

　　□ 質疑応答 □

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セミナーセミナー番号:B230277(圧電MEMS)

圧電薄膜の成膜、評価技術とMEMS応用

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