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【Live配信(Zoom使用)】
XPS (ESCA) の基礎と応用

~X線光電子分光分析の正しい測定手順の理解と適切な分析運用、ノウハウ~

■XPS分析の原理と進め方■
■XPS (ESCA)データ解釈の注意点■
■各種表面分析の中でのXPS分析の特徴と組み合わせ方■

接着、摩擦、電気、伝導など素材の
原子レベルの表面・界面で起こる問題をスピーディーに解決して、開発指針を得るために

剥離、変色、劣化等の製造、品質保証における問題の検出、
電池・半導体・触媒などの各種材料・複合材料やデバイス開発のための表面・界面の制御と理解、、、

多くの表面分析の中でも使用頻度が高いXPSの実務で役立つテクニック

XPSの原理、試料作製と測定条件の設定方法、
データ解析を適切におこなうためのノウハウ、最新のハードウェア技術の動向、、、

固体表面、他の材料や環境との界面では何が起こっているのかを明らかにし
品質保証、研究開発、生産・製造の実務に役立てる
このセミナーの受付は終了致しました。
日時 2022年7月26日(火)  13:00~16:30
会場 Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)  
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受講料(税込)
各種割引特典
44,000円 ( E-Mail案内登録価格 41,800円 ) S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について
定価:本体40,000円+税4,000円
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35,200円 ( S&T会員受講料 33,440円 )

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 (開催2日前を目安に、ダウンロード可となります)
 (ダウンロードには会員登録(無料)が必要となります)
オンライン配信ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください)
備考※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
得られる知識・XPS (ESCA)装置を使用されている方(初心者~中級者)
・XPS (ESCA)データを解釈する必要がある方
・表面分析による解析を立案する必要がある方
対象・XPS (ESCA)装置を使用されている方(初心者~中級者)
・XPS (ESCA)データを解釈する必要がある方
・表面分析による解析を立案する必要がある方

セミナー講師

アルバック・ファイ(株) 製品戦略部製品企画室 専門部長 理学博士 眞田 則明 氏
【講師紹介】

セミナー趣旨

 電池・半導体・触媒など、さまざまな素材を組み合わせた複合材料・デバイスの開発をスピードアップする要求が高まっています。その開発には、素材の性能の向上だけでなく、素材を組み合わせたときの性能の発揮がきわめて重要です。このためには、接着、摩擦、電気伝導など素材の原子レベルの表面・界面で起こる問題をスピーディーに解決して、開発指針を得る必要があります。
 本セミナーでは、表面数十原子層の分析をおこなう表面分析の中でも最もポピュラーな、X線光電子分光法(XPS、またはESCA)を取り上げ、原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウ、および最新のハードウェア技術の動向や最近の話題を取り上げ、装置ユーザーおよび材料開発に携わる方の基礎的な知識を解説します。

セミナー講演内容

 本セミナーは、XPSの原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切に
おこなうためのノウハウを紹介し、応用例を用いてわかりやすく解説する。

1.表面分析とは
 1.1 表面・界面の重要性
 1.2 各種表面分析手法
 1.3 他の表面分析手法との比較 AES(オージェ電子分光法)
   TOF-SIMS(飛行時間型二次イオン質量分析法)

2.XPSの原理と特徴
 2.1 XPS装置の構成
 2.2 XPS分析の原理
 2.3 XPSスペクトルと化学シフト
 2.4 XPS分析が表面分析となる理由
 2.5 深さ方向分析
 2.6 イメージング分析

3.XPSの試料作成と測定条件
 3.1 測定できる試料とその形状
 3.2 サンプリングの注意点 
 3.3 粉末試料
 3.4 絶縁試料
 3.5 電池材料、および導電物と絶縁物の混在試料

4.測定 
 4.1 ワイドスペクトル (サーベイスペクトル)
 4.2 ナロースペクトル

5.データ処理 
 5.1 定量計算
 5.2 定量範囲の決定
 5.3 化学状態の推定 (カーブフィッティング)

6.最新の測定技術 
 6.1 マイクロXPS分析
 6.2 ガスクラスターイオン銃による有機試料の深さ方向分析
 6.3 高エネルギーXPS (HAXPES)
 6.4 UPS (紫外光電子分光法) とLEIPS (逆光電子分光法)
 6.5 AESと組み合わせた分析
 6.6 TOF-SIMSと組み合わせた分析

7.よくある質問
 ・スピン軌道相互作用による2本のピーク
 ・サテライトピーク
 ・あり得ない(?)ピーク
 ・分析結果をきれいに見せる方法
 ・XPSによる薄膜構造解析

8.まとめ、質疑