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薄膜の剥離メカニズムと密着性改善

~スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに対処する際に知っておくべきこと~

なぜ剥離が発生するのか?密着性をどのように評価するか?密着性をどうやって改善するか?
薄膜の密着性にまつわる技術課題を解決されたい方、密着についての品質管理に関わる方は聴いておきたい!
薄膜の密着性の問題に対処する際に知っておくべき基本的な内容を基礎から易しく解説します
このセミナーの受付は終了致しました。
日時 2022年7月22日(金)  10:30~16:30
会場 Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)  
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受講料(税込)
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備考※講義の録画・録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
得られる知識・薄膜の剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
・薄膜の応力や、薄膜/基板界面などの微視的構造の基礎知識
・薄膜の剥離部を観察する際の注意点
・薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順
・薄膜の様々な剥離モードに応じた、密着性を向上させる材料設計の考え方
対象薄膜材料・デバイスの設計開発、製造プロセス、品質管理にかかわる中堅技術者、初学者

セミナー講師

セミナー趣旨

 本講座では、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、具体的な問題点とその解決のキーポイントの例示→その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→具体例などを使ってより詳しい解説、という順で平易に解説します。

 特に、界面や表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識、密着性改善の考え方、密着性の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、樹脂コーティング膜等についてもいくつかの実例を示しながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。

  本講座は、初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。

セミナー講演内容

1.なぜ剥離が発生するのか
 Introduction 薄膜の剥離トラブルの解決に苦労する理由
 1.1 膜剥離を理解・対策するための3つのポイントとは
 1.2 異種材料間の界面を観察してみよう:
   剥離トラブルを避けて、密着性を向上させるためには何をみるべきか?
 1.3 異種材料界面がくっついている根本的な要因は何か?
 1.4 密着と粘着・接着との違い
 1.5 薄膜が剥離するとは?:負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および剥離・破壊のモード
   (引張/圧縮力の負荷、ヒートサイクル、高温保持による違いの理解)
 1.6 なぜ膜応力が剥離へ大きな影響を与えるのか?
 1.7 薄膜の剥離・破壊を理解し、剥離トラブルに対処する直感的イメージ

2.密着性をどのように評価するか
 Introduction 密着性を評価しても困るケースの具体例
 2.1 密着性を評価したいがどの方法、条件を選べばいいのか:測定条件の影響と測定値の持つ意味
 2.2 様々な密着性評価方法の特長と注意点:テープテスト・3点曲げテスト
 2.3 密着性評価においてスクラッチ法が役立つ3つの理由:得られる情報と密着性改善につながる材料設計への活かし方
 2.4 樹脂膜・樹脂基材でのスクラッチテストによる密着性評価

3.密着性をどうやって改善するか
 Introduction よくある剥離トラブル時の対応における失敗例
 3.1 剥離を起こさせない条件を密着性向上の対策につなげる効果的な考え方
 3.2 異種材料界面および表面/界面の改質手法
 3.3 ケーススタディ:剥離要因を絞込み、密着性を改善する手順の具体例

4.まとめ

□ 質疑応答 □