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薄膜の剥離メカニズムと密着性改善

~スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに対処する際に知っておくべきこと~

薄膜の密着性にまつわる技術課題を解決されたい方、密着についての品質管理に関わる方は聴いておきたい!
薄膜の密着性の問題に対処する際に知っておくべき基本的な内容を基礎から易しく解説します
日時 2021年3月22日(月)  10:30~16:30
会場 Live配信セミナー(リアルタイム配信) ※会社・自宅にいながら学習可能です※  
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受講料(税込)
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備考資料付
※講義の録画・録音・撮影はご遠慮ください。
得られる知識・薄膜の剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
・薄膜の応力や界面などの微視的構造の基礎知識
・剥離の観察方法
・薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順
・薄膜の様々な剥離モードに応じた、材料設計の考え方
対象薄膜材料・デバイスの設計開発、製造プロセス、品質管理にかかわる中堅技術者、初学者

セミナー講師

セミナー趣旨

 本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、できるだけ平易に解説します。特に、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基本知識と、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、さらに樹脂コーティング膜等についても実例を挙げながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。
 初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。

セミナー講演内容

1.なぜ剥離が発生するのか
 1.1 薄膜の剥離問題で苦労する理由:膜剥離を理解・対策するための3つのポイント
 1.2 負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および剥離・破壊モード:引張/圧縮力の負荷、ヒートサイクル、高温保持による違いの理解
 1.3 異種材料間の界面構造は微視的にどうなっているのか?
 1.4 密着と粘着・接着との違い
 1.5 なぜ膜応力が剥離へ大きな影響を与えるのか?
 1.6 薄膜の剥離・破壊・密着力を理解し、改善に繋がる効果的な考え方と密着力向上の手法

2.密着性をどのように評価するか
 2.1 密着力を評価したいがどの方法、条件を選べばいいのか:測定条件の影響と測定値の持つ意味
 2.2 様々な密着力評価方法の特長と注意点:テープテスト・3点曲げテスト
 2.3 密着性評価においてスクラッチ法が役立つ3つの理由:得られる情報と密着性改善につながる材料設計への活かし方
 2.4 樹脂膜・樹脂基材でのスクラッチテストによる密着力評価

3.密着性を改善するには
 3.1 剥離を起こさせない条件を密着性改善につなげる効果的な考え方
 3.2 異種材料界面および表面/界面の改質手法
 3.3 ケーススタディ:剥離要因を絞込み、密着性を改善する手順の具体例

4.まとめ

□ 質疑応答 □