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【Web対応セミナー】
MEMSデバイスの開発と製品への応用

~圧電材料を用いた開発事例からみるMEMS開発・デバイスへの応用のポイント~

アーカイブ配信での受講についてお申込期間を延長しました!
お申込締切日:2020年9月25日(金)まで

視聴期間(予定):2020年9月28日(月)~2020年10月9日(金)

(2020年9月14日 19:15 更新)
近年、MEMSデバイスの進化は進み、各種センサーやアクチュエータでは必要不可欠なものとなっております。
その中でも圧電材料は製品の小型化・高機能化への貢献が期待されています!
圧電材料を中心にMEMS材料の開発・デバイスへの応用のポイントを解説いたします
このセミナーの受付は終了致しました。
日時 2020年9月25日(金)  までお申込受付中
収録日時 2020年9月14日
会場 Webセミナー ※会社・自宅にいながら学習可能です※  
会場地図
受講料(税込)
各種割引特典
44,000円 ( S&T会員受講料 41,800円 ) S&T会員登録について
定価:本体40,000円+税4,000円
会員:本体38,000円+税3,800円
S&T会員なら、2名同時申込みで1名分無料 1名分無料適用条件
2名で44,000円 (2名ともS&T会員登録必須​/1名あたり定価半額の22,000円)
【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
 1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/S&T会員 33,440円 )
  35,200円 ( S&T会員受講料 33,440円 )
   定価:本体32,000円+税3,200円
   会員:本体30,400円+税3,040円
 ※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
 ※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
 ※他の割引は併用できません。
備考※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※講義中のパソコン使用はキーボードの打音などでご遠慮いただく場合がございます。
対象IoT関連でセンサやアクチュエータの用途が高まっており、自社で新規なセンサやアクチュエータを開発したいと思っている方
【WEBセミナー:アーカイブ受講対応セミナー】

【WEBセミナー】をご選択の場合、以下の流れ・受講内容となります。
 ・撮影したセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
 ・視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
 ・視聴期間は9月28日~10月9日(予定)です。
  ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
 ・セミナー資料は印刷・郵送いたします。
 ・このセミナーに関する質問に限り、後日に講師にメールで質問可能です。(テキストに講師の連絡先を掲載)
【WEBセミナー】をご希望の方は、下記受講条件をご確認ください。
 
(1)S&T会員登録が必須になります(マイページ機能を利用するため)
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  【会員価格5%OFFは、受講者全員がE-MailまたはDM案内希望の場合のみ適用】
 (2)動画視聴・インターネット環境をご確認ください
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   以下のサンプル動画が閲覧できるかを事前にご確認いただいたうえで、お申し込みください。 

   ≫ テスト視聴サイト【ストリーミング(HLS)を確認】 ≫ 視聴環境

セミナー講師

藤井技術士事務所 / 株式会社TAK薄膜デバイス研究所  代表 藤井 隆満 氏
【専門】圧電MEMS、電子材料、薄膜形成、プラズマプロセス

セミナー趣旨

 富士フイルムにて圧電材料そのものの開発、製造装置の設計さらにはMEMS事業をゼロから立ち上げてきた筆者が、経験を元に学術的な視点だけではなく実際に使える現場視点/産業界の視点から、MEMS材料の開発とデバイスへの応用を、R&Dの進め方、事業化のための考え方を伝授いたします。MEMS研究者だけではなく、研究をいかに進めるべきかの参考になります。

セミナー講演内容

0.自己紹介

1.はじめに
 1-1. MEMSとは?
 1-2. 静電MEMS
  1-2-1. 圧電MEMS
  1-2-2. 静電MEMS VS 圧電MEMS
  1-2-3. MEMSのコストイメージ

2.圧電材料と成膜方法
 2-1. ゾルゲル法、MOCVD法、スパッタ法、アロゾルデポジション法~
 2-2. 圧電材料の種類と特徴
 2-3. 各社の圧電膜について
   2-3-1. Pb系材料、KNN系材料、AlN系材料など
 2-4. 圧電膜の特性と適した応用先

3.スパッタ法による高性能圧電体Nb-PZT材料の開発
 3-1. 材料開発のコンセプト
 3-2. スパッタ法における材料開発のテクニック
 3-3. Nb-PZT膜の特徴
 3-4. 分極レスの特徴によるメリット

4. 圧電膜のMEMS応用
 4-1. 圧電MEMSのプロセスフロー
 4-2. インクジェットヘッドへの応用
 4-3. マイクロミラーへの応用
 4-4. 超音波利用素子への応用
 4-5. 振動発電素子への応用
 4-6. MEMSテーマの考え方

5. 終わりに

  □質疑応答・名刺交換□