セミナー 印刷

生産/製造工程・工場・クリーンルームにおける
静電気障害対策および除電技術の総合知識

~静電気の基礎から静電気対策全般を伝授~
~イオナイザーの適切な選定や使用、除電性能の評価~
~各種製造プロセスでの除電技術とそのノウハウ~

日々、静電気が引き起こす障害や製品不良に現場で悩まされている方は是非

「現実的に」「実際に」実施できる静電気対策とその効果を解説 
このセミナーの受付は終了致しました。
日時 2019年4月25日(木)  13:00~16:30
会場 東京・大田区平和島 東京流通センター 2F  第3会議室
会場地図
受講料(税込)
各種割引特典
43,200円 ( S&T会員受講料 41,040円 ) S&T会員登録について
定価:本体40,000円+税3,200円
会員:本体38,000円+税3,040円
S&T会員なら、2名同時申込みで1名分無料 1名分無料適用条件
2名で43,200円 (2名ともS&T会員登録必須​/1名あたり定価半額21,600円) 
備考資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※講義中のパソコン使用はキーボードの打音などでご遠慮いただく場合がございます。
得られる知識①静電気の基礎
②イオナイザーの適切な選定方法や使用方法
③イオナイザーの除電性能の評価方法
④イオナイザーをクリーンルームで使用する上での注意点
⑤最新のクリーンルーム用イオナイザー
⑥接地による静電気対策の具体的な方法とその評価指標(防爆施設等における静電気対策の方法)等、
静電気の基礎から静電気対策全般までの広範囲な知識(初心者から中級者までのレベル)を習得できるように、
平易に詳細に説明する。
キーワード:静電気,静電気対策,静電気障害,静電気帯電,静電気放電,微粒子汚染,静電破壊,除電技術,イオナイザー,クリーンルーム,半導体製造,液晶製造,医薬品製造,フィルム製造,プリンテッドエレクトロニクス,コロナ放電,放電電極,発塵,防爆,接地,軟X線,X線遮蔽

セミナー講師

(株)テクノ菱和 技術開発研究所 主席研究員 博士(工学) 鈴木 政典 氏
【講師紹介】

セミナー趣旨

 半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等の工場(クリーンルーム)において、 静電気帯電や静電気放電による静電気障害が製品不良を引起し、大きな問題になっている。
 本講演では、理解を深めるため、まず静電気の基礎について説明する。次に半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等のクリーンルームにおける静電気障害について説明し、その対策として、イオナイザーについて、イオナイザーの除電原理、イオナイザーの種類と特徴、イオナイザーの具体的な選定方法と使用上の注意点、イオナイザーの除電性能評価方法を説明する。また、イオナイザーをクリーンルームで使用する上での問題点と最新のクリーンルーム用イオナイザーについて述べる。更に、イオナイザーを使用しない接地による静電気対策(防爆施設等における静電気対策)についても具体的に平易に詳細に説明する。
 本講演では、聴講者が、静電気の基礎から静電気対策全般までの広範囲な知識(初心者から中級者までのレベル)を習得できるように、平易に詳細に説明する。また、イオナイザーは、用途によっていろいろなタイプのものが多数市販されている。除電対象に合わせて適切なイオナイザーを選定することは、除電効果を決める重要なポイントである。それ故、本講演では、聴講者が、イオナイザーの適切な選定方法や使用方法を習得できるように配慮して説明する。更に、イオナイザーを使用しない接地による静電気対策についても、聴講者が実際に静電気対策を実施できるように配慮して説明する。

セミナー講演内容

1.はじめに

2.静電気の基礎

 2.1 動電気と静電気
 2.2 物質は電気エネルギーを持つ
 2.3 静電気はこうして現れる
  2.3.1 静電気発生
  2.3.2 静電気発生機構
  2.3.3 発生の原因
  2.3.4 静電誘導
  2.3.5 帯電列

3.半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
 3.1 静電気帯電の実態
 3.2 静電気障害
  3.2.1 静電気帯電による静電気障害 浮遊微粒子汚染
  3.2.2 静電気放電による静電気障害 静電破壊

4.半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策
 4.1 静電気対策の方法
  4.1.1 接地により静電荷を散逸させる方法(防爆施設等における静電気対策)
   (1) 帯電量、帯電性を評価するための主な物理量
   (2) 測定装置及び測定方法
   (3) 静電気対策と評価指標(目安)
    1) 導体の帯電防止
    2) 作業者の帯電防止
    3) 作業床の導電化
    4) 不導体の帯電防止
   (4) 防爆施設の各工程における静電気対策
  4.1.2 イオナイザーからの空気イオンにより静電荷を中和する方法
 4.2 イオナイザーの除電原理
 4.3 イオナイザーの種類と特徴
 4.4 イオナイザーの選定方法及び使用上の注意点
  4.4.1 イオナイザーの選定方法
  4.4.2 イオナイザーの使用上の注意点
 4.5 イオナイザーの除電性能の評価方法
  4.5.1 有効除電電流による性能評価
  4.5.2 帯電プレートモニタによる性能評価
 4.6 クリーンルーム用イオナイザー
  4.6.1 クリーンルームにおけるイオナイザーの問題点
  4.6.2 シースエア式低発塵イオナイザー(コロナ放電式)
  4.6.3 イオン化気流放出型イオナイザー(軟X線照射式)
   (1) 液晶カセット用イオン化気流放出型イオナイザー
   (2) チャンバー型無発塵イオナイザー(イオンカラム)
   (3) 静電気対策用層流吹出口(イオンキューブ)
  4.6.4 簡易内圧防爆型無発塵イオナイザー(軟X線照射式)
  4.6.5 静電気対策の実施例

5.おわりに

  □質疑応答□