セミナー 印刷

スパッタリング法活用のための総合知識と実務ノウハウ

~基礎から、薄膜の評価・分析、特性安定化、密着性・信頼性確保、トラブル対策、生産性の改善まで~

技術課題への助言・指導の実績をもつ講師が、スパッタリングに関する様々な課題に対応するための知識とノウハウをお教えします。
初学者から実務経験者まで幅広くご受講いただけるセミナーです。基礎知識の習得や技術力向上、課題解決等にぜひお役立てください!
このセミナーの受付は終了致しました。
日時 2019年3月28日(木)  10:30~16:30
会場 東京・品川区大井町 きゅりあん  4F 第2特別講習室
会場地図
講師 ソメイテック 代表 技術士(金属部門)​ 大薗 剣吾 氏 
【講師詳細はこちら】
受講料(税込)
各種割引特典
48,600円 ( S&T会員受講料 46,170円 ) S&T会員登録について
定価:本体45,000円+税3,600円
会員:本体42,750円+税3,420円
S&T会員なら、2名同時申込みで1名分無料 1名分無料適用条件
2名で48,600円 (2名ともS&T会員登録必須​/1名あたり定価半額24,300円) 
備考※資料・昼食付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※講義中のパソコン使用はキーボードの打音などでご遠慮いただく場合がございます。

セミナー趣旨

 スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するのか?についてのノウハウはあまり知られていません。
 本講座では、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。スパッタリング薄膜の開発、生産技術に携わる実務者はもちろん、外部委託により薄膜を活用する技術者にとっても、重要な知識を得ることができます。

セミナー講演内容

基礎編
1.スパッタリング法の基礎

 1.1 薄膜の基本を押さえよう
 1.2 スパッタリング法と他の成膜技術との違いとは
 1.3 スパッタリング薄膜の用途と今後の展開について
 1.4 スパッタリング装置の構成を把握しよう
 1.5 スパッタリング工程の運用と管理について
 
2.スパッタリング法の物理現象
 2.1 物理現象を把握することの重要性
 2.2 スパッタリングの物理現象1(プラズマ放電)
 2.3 スパッタリングの物理現象2(スパッタリング)
 2.4 スパッタリングの物理現象3(組織形成)
 2.5 スパッタリングのパラメータを整理しよう
 
3.スパッタリング薄膜の評価・分析技術
 3.1 スパッタリング薄膜に求められる性能とは
 3.2 膜厚・形状の評価方法とポイント
 3.3 各種特性評価の方法とポイント
 3.4 元素・状態分析の方法とポイント
 3.5 結晶構造評価の方法とポイント
 3.6 機械的性質・密着性評価の方法とポイント
 
応用編
4.スパッタリング薄膜の特性安定化

 4.1 特性実現と特性安定化という2つの課題
 4.2 特性とパラメータの間にあるものを理解しよう
 4.3 プロセスのばらつき・変動要因について
 4.4 プロセスのリアルタイム分析の方法とポイント
 4.5 スパッタリング薄膜の特性安定化のポイント
 4.6 特性悪化トラブルシューティング 事例と対策
 
5.スパッタリング薄膜の密着性・信頼性確保
 5.1 薄膜の密着と剥離のメカニズム
 5.2 剥離解析からの原因追究のポイント
 5.3 信頼性評価…密着性、機械的強度、各種試験
 5.4 スパッタリング薄膜の密着性確保のポイント
 5.5 密着性トラブルシューティング 事例と対策
 
6.スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
 6.1 スパッタリング薄膜の欠陥モード
 6.2 スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
 6.3 ピンホール・付着異物の原因究明と対策
 6.4 変色・しわ・しみの原因究明と対策
 6.5 外観トラブルシューティング 事例と対策
 
7.スパッタリング工程の生産性改善
 7.1 スパッタリング工程の原価を把握しよう
 7.2 スパッタリング工程のコスト改善手法
 7.3 スパッタリング工程の運用体制と稼働率
 7.4 スパッタリング工程の稼働率改善法
 7.5 メンテナンスを安全化しよう
 7.6 生産性改善アプローチの事例

8.スパッタリング薄膜応用の最新事例

 
□ 質疑応答・名刺交換□