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薄膜の剥離メカニズムと密着性改善

~スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに対処する際に知っておくべきこと~

薄膜の密着性にまつわる技術課題を解決したい方、密着についての品質管理に関わる方は必聴!?
薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容をお教えします
日時 2019年1月29日(火)  10:30~16:30
会場 東京・品川区大井町 きゅりあん  6階 中会議室
会場地図
受講料(税込)
各種割引特典
48,600円 ( S&T会員受講料 46,170円 ) S&T会員登録について
定価:本体45,000円+税3,600円
会員:本体42,750円+税3,420円
S&T会員なら、2名同時申込みで1名分無料 1名分無料適用条件
2名で48,600円 (2名ともS&T会員登録必須/1名あたり定価半額24,300円) 
備考資料・昼食付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※講義中のパソコン使用はキーボードの打音などでご遠慮いただく場合がございます。
得られる知識・薄膜の剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
・薄膜の応力や界面などの微視的構造の基礎知識
・剥離の観察方法
対象・薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい初学者、中堅技術者
・薄膜に関する新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方
・品質管理等で薄膜の密着性評価技術の本質を理解したい方

セミナー講師

セミナー趣旨

 本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、できるだけ平易に解説します。特に、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基本知識と、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、さらに樹脂コーティング膜等についても実例を挙げながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。
 初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。

セミナー講演内容

1.なぜ剥離が発生するのか:知っておきたい基礎知識
 1.1 まずは剥離したところをよく観察しよう
 1.2 剥離に影響を与える材料的要因と剥離発生要因の簡単な見分け方
 1.3 異種材料間の界面構造はどうなっているのか?
 1.4 表面/界面エネルギーと密着力の意味するもの
 1.5 密着と粘着・接着との違い
 1.6 なぜ膜応力が剥離へ大きな影響を与えるのか?
 1.7 剥離・破壊を理解する考え方の基本
 1.8 剥離を起こさないための条件とは

2.密着性をどのように評価するか
 2.1 様々な密着力評価方法の特長と注意点:テープテスト・3点曲げテスト
 2.2 スクラッチテストの有用性を支える3つのポイント:得られる情報とその読み解き方
 2.3 密着力の測定値に対する測定条件の影響
 2.4 密着強度はどこまで当てになるのか?

3.密着性を改善するには
 3.1 密着性改善につながる効果的な考え方
 3.2 異種材料界面と表面/界面の改質手法
 3.3 膜応力を低減するとなぜ密着力は改善するのか

4.剥離/密着不良が起こった場合にどのように対処するのか
 4.1 対処手順と解析の方法
 4.2 ケーススタディ1:様々な剥離形態により発生要因を読み取る具体例
 4.3 ケーススタディ2:剥離原因を絞込み、密着性改善対策をおこなう手順の具体例

5.まとめ

□ 質疑応答 □