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【Live配信(リアルタイム配信)】
【出席者特典:アーカイブ付(5日間視聴OK)】

1日速習!よくわかる、
半導体洗浄の基礎と要点、困ったときの対策

■洗浄する目的は何か?■
■洗うとは如何なることか? 何のためか?■
■「清浄・きれい」とは何なのか?■

本セミナーは、Zoomによる【Live配信受講】のみです。
※詳細につきましては下記「オンライン配信」の項目をご確認ください。
★ 半導体以外の洗浄をしている技術者にも参考になるセミナーです。
このセミナーの受付は終了致しました。
日時 2021年9月28日(火)  10:30~16:30
会場 Live配信セミナー ※会社・自宅にいながら受講可能です※  
会場地図
講師 横浜国立大学 大学院理工学府 化学・生命系理工学専攻 教授 羽深 等 氏
【主な経歴・研究内容・専門・活動・受賞など】
新潟大学理学部化学科 理学士(1979年3月)
京都大学大学院理学研究科化学専攻 理学修士(1981年3月)
広島大学大学院工学研究科 博士(工学)(1996年9月)
信越化学工業(信越半導体) 1981年4月~2000年3月
横浜国立大学工学部物質工学科 助教授 2000年4月~2002年3月
横浜国立大学大学院工学研究院 教授 2002年4月~現在に至る
【研究分野】
半導体結晶製造プロセスの化学工学(実験と解析)
半導体シリコンウエハ湿式洗浄装置(枚葉式・バッチ式)の解析・設計
半導体シリコンと炭化珪素の薄膜成長(CVD, PECVD)・エッチング・装置クリーニングのプロセス開発と解析
半導体シリコン表面の分子吸着・脱離挙動の測定と解析
【WebSite】
http://www.habukalab.ynu.ac.jp/
受講料(税込)
各種割引特典
55,000円 ( E-Mail案内登録価格 52,250円 ) S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について
定価:本体50,000円+税5,000円
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 定価:本体45,000円+税4,500円
 E-Mail案内登録価格:本体42,700円+税4,270円
1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。
特典※出席参加者に限り、アーカイブ:録画映像(5日間視聴可)も付いています。繰り返しの視聴学習が可能!
(※原則編集は行いません。3営業日以内を目途にZoomのURLまたは当社サイトのマイページからご視聴いただけます。)
配布資料PDFデータでの配布のみ(印刷可/編集は不可)
※PDFデータは、セミナー開催日の2日前を目安にマイページからダウンロード可能になります。
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・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
■最近よくあるお問い合わせ■
1.受講中の、カメラのON/OFF、マイクのON/OFFについて。
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備考資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

セミナー趣旨

 半導体洗浄を直感で理解できることを目指して、基礎現象から困った時の視点と対策まで1日で説明します。洗浄とは何のために何をどうすることか?、「清浄・きれい」の意味は何か?を改めて考えると、意外なほど工程と現象が見えて来ます。ここでは、簡単な流れの例を動画で見て基礎現象の感覚をつかみ、湿式の枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れを可視化観察動画と計算例で解説します。超音波の効果についても動画を見るとイメージが湧いて来ます。まとめでは、足元をすくわれた時の視点と対策を簡潔に説明します。
 半導体以外の洗浄をしている技術者にも参考にして頂けます。また、化学工学の基礎と応用の視点から説明しますので、洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。

セミナー講演内容

<得られる知識・技術>
・先端材料の洗浄方法を組むための要素
・目的に合わせた「清浄」の定義
・キレイにするための表面の取扱い方
・生産プロセスに共通して潜在する化学工学(流れ・気泡などの動きと設計)

<プログラム>
1.洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?

2.一般の洗浄(洗浄の4要素:温度、時間、化学、力学)

3.半導体の洗浄に特有のこと

4.先端技術情報(半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)

5.半導体洗浄の基礎現象(薬液と流れの効果)
 5.1 表面の現象とプロセス(付着・脱離・引き剥がす・乾かす)
 5.2 流れ、熱、拡散、反応
 5.3 装置内流れの種類(完全混合、押出流れ、境界層)
 5.4 流れの可視化観察(簡単な例を動画で紹介)

6.洗浄機内の流れと反応
 6.1 枚葉式洗浄機
  6.1.1 水の流れ(観察動画と計算例)
  6.1.2 化学反応の例
 6.2 バッチ式洗浄機
  6.2.1 水の流れ(観察動画と計算例)
  6.2.2 水流を最適化(思うように変えてみた例)
 6.3 超音波の働きと水の動き(観察)

7.まとめ:困った時の視点と対策


  □質疑応答□