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| 講師 ： |
第1部 クリーンルームにおける汚染メカニズムと清浄化技術と清浄度評価法
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≪10:30〜12:10>>
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工学院大学 工学部 環境化学工学科 准教授 並木 則和 氏
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【経歴】
1994年3月 東京工業大学 大学院 総合理工学研究科 修了
1994年4月 金沢大学 工学部 助手（2003年4月助教授；2006年3月まで）
1996年3月 博士（工学）取得（東京工業大学）
2001年4月 米国ワシントン大学 在外研究員（2002年2月まで）
2008年4月 工学院大学 工学部 准教授（現在に至る）
【専門】
化学工学、環境工学、微粒子工学
【委員】
ISO/TC209（クリーンルーム規格）WG9、10の日本代表委員
【受賞】
空気清浄協会会長賞（2006年4月） |
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| 第2部 クリーンルームにおけるユーティリティーの運用管理と省エネ対策
〜電気・排気・冷却水・純水・ドライエアー・真空〜
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≪13:00〜14:40>>
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リコーエンジニアリング(株) 神奈川事業部 御殿場FM部
御殿場保全グル−プ 課長(グループリーダー) 山本 勝之 氏
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【経歴】
1989年〜2008年 リコーやしろ工場 勤務 ＦＭ（ファシリティーマネジメント）業務に携る
【資格】
電気主任技術者（2種）
エネルギー管理士（電気・熱）
冷凍機械保安責任者（1種）
ボイラー技士（2級） |
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| 第3部 「見える化」で進めるクリーン化 〜作業員からのクリールーム汚染と教育・管理・実施〜
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≪14:50〜16:30>>
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| 講演内容 ： |
第1部 クリーンルームにおける汚染メカニズムと清浄化技術と清浄度評価法
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＜趣旨＞
クリーンルームは様々な産業分野に普及しており、各種製品を作る際の基盤環境になりつつある。しかし、クリーンルームやクリーンブース等のクリーン化施設を設置しただけでは本来目的とするコンタミネーションコントロール（汚染制御）を適切に行うのは困難である。
本講演では、主に工業用クリーンルームを対象として、クリーンルームの基礎や汚染物質の種類、その挙動についてまず述べ、清浄化技術で基本となるエアフィルタおよびケミカルフィルタの基礎について説明する。最後に、清浄度評価法と関連するISO規格および国内規格の概要を説明する。 |
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１．クリーンルームの基礎と汚染メカニズム
1.1 クリーンルームの方式
（気流方式、ミニエンバイロメント）
1.2 汚染物質の種類とその挙動
（粒子状汚染物質、ガス状汚染物質、沈着・吸着挙動、ガスー粒子相互作用）
２．清浄化技術としてのエアフィルタのおよびケミカルフィルタの基礎知識
2.1 エアフィルタの種類とろ過理論
（HEPA・ULPAフィルター、ろ過理論、性能評価）
2.2 ケミカルフィルタの種類と除去機構
（吸着式、イオン交換繊維、吸着挙動）
３．清浄度評価法と関連規格
3.1 関連規格の動向
（ISO/TC209、 TC142、 TC229、JIS B9920、JACA指針）
3.2 空間清浄度評価法と関連規格
（ISO14644-1、JIS B9920、ISO14644-8、JACA No.35）
3.3 表面清浄度評価法と関連規格
（ISO/TC209/WG9、 WG10、JACA No.42、 43）
□質疑応答・名刺交換□
※（ ）内はキーワード |
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第2部 クリーンルームにおけるユーティリティーの運用管理と省エネ対策
〜電気・排気・冷却水・純水・ドライエアー・真空〜
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＜趣旨＞
半導体製造工場におけるクリーンルーム要求品質の維持管理の問題点と、必要ユーティリティー（電気・排気・冷却水・純水・ドライエアー・真空）の運転管理について、20年間の実務を通じての管理及び改善ポイントを説明したいと思います。
又、最近の話題では欠かすことができない半導体工場の各ユーティリティーの省エネ技術についても説明します。 |
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１．クリーンルームのシステム構成
1.1 外気処理設備
1.2 循環空調設備
1.3 排気処理設備
２．クリーンルーム空調システム制御について
2.1 実際の運転管理とその問題点
2.2 システム設計時の留意点
2.3 工場運用後の留意点
３．クリーンルームにおける日常運用管理
3.1 温度・湿度・室圧・静浄度管理のポイント
3.2 空調設備におけるトラブルとその対策
４．半導体製造工程におけるユーティリティーの品質管理
4.1 各設備機器（電気・排気・冷却水・純水・ドライエアー・真空）におけるトラブルとその対策
５．半導体製造工程におけるユーティリティー監視システムの構築
６．半導体工場における省エネ技術
6.1 省エネ法は誰のため？
6.2 半導体工場でのエネルギー消費
6.3 半導体工場の省エネルギー
6.4 半導体クリーンルームの特徴
6.5 半導体工場の省エネルギー手法
6.5.1 設計時の省エネ対策
6.5.2 工場運用後の省エネルギー対策
７．運転管理からみた設計者へのお願い
□質疑応答・名刺交換□ |
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第3部 「見える化」で進めるクリーン化 〜作業員からのクリールーム汚染と教育・管理・実施〜
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＜趣旨＞
クリーンルームを設置しただけではクリーン化は実現しません。クリーンルームの入退室をはじめ、従業員のソフト上の管理がその重要な要素となります。
本セミナーでは誰にでも分かる「見える化」をキーワードにクリーン化を実現するためのノウハウについて講演いたします。 |
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１．クリーン化ニーズの現状とクリーン化の基本
1.1 クリーンルーム技術とニーズ
1.2 クラス100、1000、10000の違い。
1.3 ゴミはどこから来るのか？
1.4 クリーンルームの４原則
1.5 陽圧・陰圧・循環による清浄度の差
1.6 各種器具や材料からの発塵を測定する
２．作業員からの発塵
2.1 クリーンウエアからの発塵の動画
2.2 クリーンウエアの保管と繊維くず
2.3 作業員教育と入退室管理
３．エアシャワーの役割と効果
3.1 エアシャワーの効果
（髪の毛・繊維くず・ポリアミド系異物・パーティクル）
3.2 エアシャワーで落としたゴミはどこへ行く
3.3 エアシャワーと静電気吸着
４．クリーンルームのゴミを「見える化」する
4.1 パーティクルカウンターと５μｍ〜１００μｍのゴミ
4.2 付着ゴミの確認
4.3 ポラリオンライトがよく見えるわけ
4.4 見える化と問題解決
□質疑応答・名刺交換□ |