セミナー番号：A080917(表面・深さ分析)

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★目的にあった分析方法をどのように選んだらよいのか？各種分析方法の選択と比較、使い方について解説！

★電子・イオン・Ｘ線の振る舞いから表面分析を理解する

表面・深さ方向・微小部の分析技術と最適分析方法の選択

講師        ： (株)島津製作所 分析計測事業部 技術顧問 工学博士　副島 啓義　氏 【専門】 　科学計測 　電子・イオン・Ｘ線を用いた、表面・界面・微小部分析法・装置の開発 【活動】 　表面科学会、分析化学会、応用物理学会、顕微鏡学会で活躍中 　「電子線マイクロアナリシス」(日刊工業新聞社）著者 　 日時        ： 2008年9月17日(水) 10:30〜16:30 会場        ： 東京・江東区亀戸 商工情報センター(カメリアプラザ) 9F　第2研修室 ≪会場地図はこちら≫ 受講料     ： (税込) 47,250円 ⇒E-mail案内登録会員 44,800円 　※資料・昼食付 上記価格より：＜2名で参加の場合1名につき7,350円割引＞＜3名で参加の場合1名につき10,500円割引＞（同一法人に限ります）

講演内容  ： ＜趣旨＞ 　機能材料や高密度部品の表面や微小部・深さ方向の状態と変化の解析の必要性は産業や環境の多様な場面でいっそう必要となっている。他方、表面や深さ方向・微小部の分析法は非常に多種あり、分類の仕方にもよるが優に100種以上が知られており、それぞれが有用な応用能力を有している。しかし、このような 多種の分析法・装置から目的にあった最適方法を見つけるには広い知識と経験を必要とする。さらに、 ミクロン〜サブミクロン〜ナノの世界を正しく解明するには、空間分解能を正しく理解していなければならない。 　これらについて基礎と応用の両面から解説し、先端技術の紹介も行う。 １．表面分析ってなに？何が知りたい ２．表面・深さ方向・微小部の分析法 　2.1 電子の振る舞いと試料との相互作用 　2.2 イオンの振る舞いと試料との相互作用 　2.3 Ｘ線の振る舞いと試料との相互作用 　2.4 さまざまな分析法 ３．特に汎用性のある分析法の特徴と比較 　3.1 ＳＥＭ−ＥＤＸ、ＥＰＭＡ、ＡＥＳ、ＳＩＭＳ、ＸＰＳの特徴と比較　 　3.2 様々な分析法の特徴と比較 　3.3 分析法比較の注意と落とし穴 ４．空間分解能　 　4.1 空間分解能とは？　その重要性 　4.2 空間分解能は何によって決まり、どのように分析データに反映するか 　4.3 様々な事例 ５．先端分析技術　特にナノ分析について 　5.1 電子・イオン・Ｘ線の可能性 　5.2 Ｘ線分析の革新技術、ＭＣＸ（マルチキャピラリＸ線レンズ）とその応用 　　□質疑応答・名刺交換□

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