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講師紹介

氏名
徳田 規夫　氏
会社・団体
金沢大学 / 株式会社Kanazawa Diamond / 株式会社VISION IV
所属
ナノマテリアル研究所
役職
教授（リサーチプロフェッサー） / 取締役 / 技術顧問
学位
博士（工学）
略歴
筑波大学にてシリコンゲート絶縁膜、シリコン表面・界面構造制御に関する研究で2005年に博士（工学）を取得。
その後、産業技術総合研究所でポスドクとしてダイヤモンド研究を開始。主に、ダイヤモンドのホモエピタキシャル成長制御技術を研究
2009年4月に金沢大学に助教として着任し、ダイヤモンド半導体ウェハ及びデバイスに関する研究を開始
2011年9月に准教授。2015年2月に金沢大学リサーチプロフェッサー
2018年4月に産業技術総合研究所クロスアポイントフェローを兼任
2018年12月に金沢大学ナノマテリアル研究所教授
2020年4月から2021年3月まで京都大学化学研究所客員教授を兼任
2020年12月から株式会社Kanazawa Diamond取締役を兼任
2021年5月から株式会社VISION IVにて技術顧問を兼任
現在に至る。
専門
半導体工学
研究内容
学生時代に行っていた原子レベルのシリコンゲート絶縁膜、表面・界面構造制御に関する経験を基に、原子レベルのダイヤモンドエピタキシャル成長、ダイヤモンド表面・界面構造制御に関する研究に取り組み、2016年に、世界で初めて反転層ダイヤモンドMOSFETの開発に成功。現在は、ダイヤモンドウェハの開発からパワーデバイス、量子デバイスに関する研究を一貫して行っている。
受賞
これまでに、応用物理学会論文賞や応用物理学会薄膜表面分科会論文賞、応用物理学会講演賞など計９件の受賞
Webページ
【研究HP】

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